[实用新型]一种高节能高效率纳米真空镀膜仪

说明书

本实用新型公开了高节能高效率纳米真空镀膜仪，包括蒸发源,蒸发源包括具有蒸发腔的柱形坩埚,柱形坩埚的顶部设有盖体,盖体上开设有出气口,柱形坩埚的内底面设有第一凸台,柱形坩埚的外底面上设有凹槽,柱形坩埚的上端内壁为锥形面,盖体的外边缘依次设有相连接的三个环形板,三个环形板分别与柱形坩埚的锥形面、上端面及上端外壁紧密贴合。通过在柱形坩埚内设置第一凸台，在进行真空蒸镀时，能增大蒸发材料与柱形坩埚的受热面积，以提高蒸发效率；柱形坩埚上设有锥形面，盖体上设置多个环形板分别与柱形坩埚的上端紧密贴合，有利于提高柱形坩埚与盖体边缘连接的密封性能，使蒸发后的气体仅从出气口射出，防止沉积到其他位置造成材料的浪费。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，具体涉及一种高节能高效率纳米真空镀膜仪。

背景技术

纳米真空镀膜仪可以对蒸镀的源材料进行高精度控温，常常用于纳米级薄膜材料和纳米器件的制备。在蒸镀的过程中，蒸发源内的蒸镀材料被加热到一定温度发生蒸发或升华，蒸汽从坩埚上升并沉积到目标基板表面形成薄膜。

现有常用的纳米真空蒸发源的坩埚为U形的，因开口完全敞开，所以散射面较大，在蒸镀时有一部分的纳米材料会沉积在其他位置，容易造成材料浪费。如果做成小口径的U形坩埚会缩小坩埚的容量，可能会造成坩埚装载量不够的问题。

实用新型内容

为解决上述技术缺陷，本实用新型采用的技术方案在于，提供一种高节能高效率纳米真空镀膜仪，包括蒸发源，所述蒸发源包括具有蒸发腔的柱形坩埚,所述柱形坩埚的顶部设有开口，开口上可拆卸设有盖体，所述盖体上开设有出气口，所述柱形坩埚的内底面设有第一凸台,所述柱形坩埚的外底面上与第一凸台对应的位置设有凹槽，所述柱形坩埚的上端内壁为下窄上宽的锥形面，所述盖体的外边缘依次设有相连接的第一环形板、第二环形板以及第三环形板，所述第一环形板与锥形面紧密贴合，所述第二环形板与柱形坩埚的上端面紧密贴合，所述第三环形板与柱形坩埚的上端外壁紧密贴合。

进一步地，所述柱形坩埚的底部设有加热垫，所述加热垫的上表面设有第二凸台，所述第二凸台与凹槽嵌入贴合。

进一步地，所述盖体上设有喇叭形导气片，所述出气口设置在喇叭形导气片上，所述喇叭形导气片的上端宽下端窄。

进一步的，所述加热垫的外部设有热屏蔽罩，所述热屏蔽罩的上端套设在柱形坩埚的下端。

进一步地，所述柱形坩埚的外壁设有第一螺旋槽，所述第一螺旋槽内安装有螺旋加热丝。

进一步地，所述柱形坩埚的外壁设有第二螺旋槽，所述第二螺旋槽内安装有螺旋冷却带，所述第一螺旋槽与第二螺旋槽同向延伸且间隔设置。

与现有技术比较本实用新型技术方案的有益效果为：

1、本实用新型提供的一种高节能高效率纳米真空镀膜仪，通过在柱形坩埚内设置第一凸台，在进行真空蒸镀时，能增大蒸发材料与柱形坩埚的受热面积，以提高蒸发效率；柱形坩埚上设有锥形面，盖体上设置多个环形板分别与柱形坩埚的上端紧密贴合，有利于提高柱形坩埚与盖体边缘连接的密封性能，使蒸发后的气体仅从出气口射出，既能保证柱形坩埚的容量，又可以减少柱形坩埚的开口口径，缩小柱形坩埚的散射面，防止沉积到其他位置造成材料的浪费，同时也方便清理。

2、在加热垫的上表面设置第二凸台与柱形坩埚底部的凹槽嵌入贴合，使得柱形坩埚的受力比较均匀，也能保证加热垫加热的稳定性；通过设置热屏蔽罩可以减少热量的散失，能有效将热量集中在热屏蔽罩周围，有利于提高加热垫的加热效率。

3、设置喇叭形导气片对蒸发的气体进行导流，使气流快速喷射到待镀膜的基片上。

4、设置螺旋加热丝可以使柱形坩埚均匀受热，能进一步提高柱形坩埚的蒸发效率；采用螺旋冷却带可以实现对柱形坩埚均匀冷却，有利于提高蒸发源的冷却效果。

附图说明