[实用新型]一种高节能高效率纳米真空镀膜仪

权利要求书

1.一种高节能高效率纳米真空镀膜仪，包括蒸发源，所述蒸发源包括具有蒸发腔(11)的柱形坩埚(1)，所述柱形坩埚(1)的顶部设有开口(12)，开口(12)上可拆卸设有盖体(2)，所述盖体(2)上开设有出气口(21)，其特征在于：所述柱形坩埚(1)的内底面设有第一凸台(13)，所述柱形坩埚(1)的外底面上与第一凸台(13)对应的位置设有凹槽(14)，所述柱形坩埚(1)的上端内壁为下窄上宽的锥形面(15)，所述盖体(2)的外边缘依次设有相连接的第一环形板(22)、第二环形板(23)以及第三环形板(24)，所述第一环形板(22)与锥形面(15)紧密贴合，所述第二环形板(23)与柱形坩埚(1)的上端面紧密贴合，所述第三环形板(24)与柱形坩埚(1)的上端外壁紧密贴合。

2.如权利要求1所述的一种高节能高效率纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述柱形坩埚(1)的底部设有加热垫(3)，所述加热垫(3)的上表面设有第二凸台(31)，所述第二凸台(31)与凹槽(14)嵌入贴合。

3.如权利要求1所述的一种高节能高效率纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述盖体(2)上设有喇叭形导气片(4)，所述出气口(21)设置在喇叭形导气片(4)上，所述喇叭形导气片(4)的上端宽下端窄。

4.如权利要求2所述的一种高节能高效率纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述加热垫(3)的外部设有热屏蔽罩(5)，所述热屏蔽罩(5)的上端套设在柱形坩埚(1)的下端。

5.如权利要求1所述的一种高节能高效率纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述柱形坩埚(1)的外壁设有第一螺旋槽(16)，所述第一螺旋槽(16)内安装有螺旋加热丝(6)。

6.如权利要求5所述的一种高节能高效率纳米真空镀膜仪，其特征在于：所述柱形坩埚(1)的外壁设有第二螺旋槽(17)，所述第二螺旋槽(17)内安装有螺旋冷却带(7)，所述第一螺旋槽(16)与第二螺旋槽(17)同向延伸且间隔设置。