[实用新型]一种高速探针卡探针

说明书

本实用新型提供了一种高速探针卡探针，包括：探针本体；所述探针本体由至少一段加粗段以及至少一段降低应力的消减段构成,所述消减段的横截面积小于所述加粗段的横截面积，通过将探针加粗，能够降低探针的阻抗，通过设置消减段，能够在降低探针阻抗的前提下，使探针的应力减小，从而在保证探针质量的同时提高探针的信号传输速率。

技术领域

本实用新型涉及探针技术领域，尤指一种高速探针卡探针。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，探针卡主要通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。探针卡是将探针直接与芯片上的焊垫或凸块接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

探针卡的高速性能对芯片的测试至关重要，但是，现有的探针卡的高速性能一直无法提升，目前可测试频率主要集中在1GHz,这主要受限于探针的性能限制。现有的探针阻抗偏高，而降低探针阻抗的主要方式是将探针加粗，比较胖的探针阻抗会有下降，但探针变胖后会增加探针的应力，应力过大会损伤晶圆，从而造成探针的损坏，因此，急需一种阻抗不高，且能够降低探针应力的探针。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高速探针卡探针，能够在降低探针阻抗的前提下，使探针的应力减小，从而在保证探针质量的同时提高探针的信号传输速率。

本实用新型提供的技术方案如下：

本实用新型提供一种高速探针卡探针，包括：

探针本体；

所述探针本体由至少一段加粗段以及至少一段降低应力的消减段构成,所述消减段的横截面积小于所述加粗段的横截面积。

探针的阻抗与探针的粗细程度有关，探针越粗，探针的阻抗越小，信号传输速率越高，通过在探针本体上设置加粗段，能够使探针的阻抗减小，同时，通过在探针本体上设置横截面积比加粗段小的用于降低应力的消减段，能够在降低阻抗的前提下，减小探针本体的应力，从而在保证探针质量的同时提高探针的信号传输速率。

进一步地，所述消减段的外径与所述加粗段的外径相同，且所述消减段的轴心处设有通孔，使所述消减段的横截面积小于所述加粗段的横截面积。

通过将消减段的外径与加粗段的外径设置相同，且在消减段的轴心处设置通孔，能够使消减段的横截面积小于加粗段的横截面积，从而达到保证探针质量的同时提高探针的信号传输速率的目的。

进一步地，所述通孔的直径与所述消减段的外径之比在(1:4)至(1：2)之间。

通过将通孔的直径与消减段的外径之比设置在(1:4)至(1：2)之间，能够在保证降低探针应力的同时，保证探针的强度等，避免探针损坏。

进一步地，所述通孔为直通孔或由若干个均匀分布的小孔组成。

进一步地，所述消减段的外径小于所述加粗段的外径，使所述消减段的横截面积小于所述加粗段的横截面积。

通过将消减段的外径设置为小于加粗段的外径，能够使消减段的横截面积小于加粗段的横截面积，从而达到保证探针质量的同时提高探针的信号传输速率的目的。

进一步地，所述加粗段和所述消减段同轴设置或偏心设置。

进一步地，所述加粗段与所述消减段的连接处还设置有渐缩段。

通过设置渐缩段，能够使加粗段与消减段的连接处的过渡更平滑，从而有利于保证探针的强度。

进一步地，所述消减段的外径与所述加粗段的外径相同，且所述消减段的侧面设置有条形槽。