[实用新型]一种高速探针卡探针有效
| 申请号： | 202020211005.X | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN211697917U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 梁建;罗雄科 | 申请（专利权）人： | 上海泽丰半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200233 上海市徐*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高速 探针 | ||
1.一种高速探针卡探针，其特征在于，包括：
探针本体；
所述探针本体由至少一段加粗段以及至少一段降低应力的消减段构成,所述消减段的横截面积小于所述加粗段的横截面积。
2.根据权利要求1所述的一种高速探针卡探针，其特征在于：所述消减段的外径与所述加粗段的外径相同，且所述消减段的轴心处设有通孔，使所述消减段的横截面积小于所述加粗段的横截面积。
3.根据权利要求2所述的一种高速探针卡探针，其特征在于：所述通孔的直径与所述消减段的外径之比在1:4至1：2之间。
4.根据权利要求2所述的一种高速探针卡探针，其特征在于：所述通孔为直通孔或由若干个均匀分布的小孔组成。
5.根据权利要求1所述的一种高速探针卡探针，其特征在于：所述消减段的外径小于所述加粗段的外径，使所述消减段的横截面积小于所述加粗段的横截面积。
6.根据权利要求5所述的一种高速探针卡探针，其特征在于：所述加粗段和所述消减段同轴设置或偏心设置。
7.根据权利要求5所述的一种高速探针卡探针，其特征在于：所述加粗段与所述消减段的连接处还设置有渐缩段。
8.根据权利要求1所述的一种高速探针卡探针，其特征在于：所述消减段的外径与所述加粗段的外径相同，且所述消减段的侧面设置有条形槽。
9.根据权利要求1-8任一所述的一种高速探针卡探针，其特征在于：所述加粗段和所述消减段交替连接，且所述探针本体的两端为所述加粗段。
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