[实用新型]一种高精度平面度检测装置

说明书

本实用新型公开了一种高精度平面度检测装置，包括检测箱体、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶，所述匀光模块和取像模块设于检测箱体内，匀光模块包括光源罩和设于光源罩中的三色干涉光源，光源罩顶壁为匀光板；取像模块包括若干个CCD网络相机，CCD网络相机朝向平面平晶底部，对平面平晶底部取像；CCD网络相机与平面度计算模块连接。本实用新型检测时平面平晶底部、匀光模块和取像模块均处于封闭的检测箱体内，同时通过多个CCD网络相机取像，能够有效避免外界光环境对匀光和取像的干扰，使干涉条纹的呈现和取像更准确，增加平面度的检测精度。

技术领域

本实用新型涉及平面度检测领域，具体是一种高精度平面度检测装置。

背景技术

平晶干涉法是一种平面度检测方法，用于测量高光洁表面的平面误差。测量时，把被测表面放在平面平晶上，以光源照射平面平晶，光在平面平晶表面反射和被测表面反射回来的光线形成干涉现象，由于被测表面平面度的影响，干涉光线的光程差不同，因此形成干涉条纹。干涉条纹反映被测表面的平面度，通过干涉条纹能够计算被测样品的平面度。

中国专利文件201811427991.6公开了一种航空件超高精度端面平面度检测成像装置及检测方法，包括实木主体盒、平晶托盘、平晶、干涉光源、CCD传感器、万向调节支架和计算机。实木主体盒的底座上设有平面镜，后侧板上设有毛玻璃，左侧板、右侧板和上板的内表面上设有黑色遮光层，上板上设有安装平晶托盘的槽孔；平晶放置在平晶托盘上，干涉光源安装在实木主体盒内，CCD传感器连接万向调节支架、拍摄并发送干涉条纹图像至计算机。该发明通过CCD传感器和万向调节支架，使干涉条纹清晰的呈现在计算机上，弥补了平晶检测平面度时测量结果难以高效准确读取的缺陷，提高零件检测效率和准确度；在实木主体盒内置黑色遮光层，提高光源聚拢性，将反射光对测量效果的影响降至最低，增加了测量结果的准确度。

该现有技术通过平面镜来反射干涉条纹图像，但实际平面镜达不到理想状态，反射成像存在一定像差，且外部光环境可能通过平面镜反射照射平面平晶，对干涉条纹的呈现造成影响，同时外部光环境也可能干扰CCD传感器，对干涉条纹的清晰取像造成影响。此外，现有技术均是通过单个CCD相机取像，而镜头成像存在像差，使得平面度检测精度受到影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有技术的上述问题，提供了一种高精度平面度检测装置。

本实用新型的目的主要通过以下技术方案实现：

一种高精度平面度检测装置，包括检测箱体、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶，所述匀光模块和取像模块设于检测箱体内，匀光模块包括光源罩和设于光源罩中的三色干涉光源，光源罩顶壁为匀光板；取像模块包括若干个CCD网络相机，CCD网络相机朝向平面平晶底面，对平面平晶底部取像；CCD网络相机与平面度计算模块连接。

优选地，所述检测箱体右侧壁作为光源罩右侧壁，检测箱体右侧壁可下旋朝外打开，三色干涉光源设于检测箱体右侧壁朝内一面上。

优选地，所述平面度计算模块为触屏电脑，触屏电脑安装于检测箱体前壁上。

优选地，所述检测箱体前壁包括从内到外依次设置的隔板和卡框，触屏电脑安装于卡框中。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：检测时平面平晶底部、匀光模块和取像模块均处于封闭的检测箱体内，能够有效避免外界光环境对匀光和取像的干扰，使干涉条纹的呈现和取像更准确。此外通过CCD网络相机对平面平晶直接取像，提高干涉条纹的取像准确度。同时通过多个CCD网络相机取像，平面度计算模块对多个CCD网络相机的干涉条纹图像进行处理，补偿像差，组合得到更为准确的干涉条纹图像并计算，从而提高平面度检测精度。

附图说明