[实用新型]一种高精度平面度检测装置

权利要求书

1.一种高精度平面度检测装置，包括检测箱体（1）、平面度计算模块、匀光模块和取像模块，检测箱体（1）顶壁开有卡口，卡口处卡设有平面平晶（2），其特征在于：所述匀光模块和取像模块均设于检测箱体（1）内，匀光模块包括光源罩（3）和设于光源罩（3）中的三色干涉光源（4），光源罩（3）顶壁为匀光板（5）；取像模块包括若干个CCD网络相机（6），CCD网络相机（6）朝向平面平晶（2）底面，对平面平晶（2）取像；CCD网络相机（6）与平面度计算模块连接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度平面度检测装置，其特征在于：所述检测箱体（1）右侧壁作为光源罩（3）右侧壁，检测箱体（1）右侧壁可下旋朝外打开，三色干涉光源（4）设于检测箱体（1）右侧壁朝内一面上。

3.根据权利要求1或2所述的一种高精度平面度检测装置，其特征在于：所述平面度计算模块为触屏电脑（7），触屏电脑（7）安装于检测箱体（1）前壁上。

4.根据权利要求3所述的一种高精度平面度检测装置，其特征在于：所述检测箱体（1）前壁包括从内到外依次设置的隔板（8）和卡框（9），触屏电脑（7）安装于卡框（9）中。