[实用新型]一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置

说明书

本实用新型公开了一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，包括支撑框架(2)、多个定位装置(1)、多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)设置在支撑框架(2)上用于实现与硅片花篮(5)的连接定位，所述支撑框架(2)包括一中间支架(2‑1)，所述中间支架(2‑1)上设置有所述多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)和多个间隔柱(3)位于支撑框架(2)的同一侧。本实用新型的高效防黏粘的薄硅片隔片装置可配合设置在硅片花篮上，其上的多个间隔柱正好隔在薄硅片之间，硅片之间就不会因为水的拉力而互相粘黏在一起，同时由于设置多个间隔柱可使得花篮硅片盛放效率提高了一倍。

技术领域

本实用新型属于硅片承载领域，具体涉及一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置。

背景技术

硅片进行清洗时需放置于硅片花篮中，相邻的硅片通过隔板隔开，避免清洗过程中硅片发生粘片。在硅片清洗过程中，薄硅片在花篮内通常都是隔槽摆放，25片花篮只能放13片，存在放置效率低、容易发生粘片的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片专用花篮装置以解决硅片与花篮面接触不易干燥和容易留有水痕的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，包括支撑框架、多个定位装置、多个间隔柱，所述多个定位装置设置在支撑框架上用于实现与硅片花篮的连接定位，所述支撑框架包括一中间支架，所述中间支架上设置有所述多个间隔柱，所述多个定位装置和多个间隔柱位于支撑框架的同一侧。

进一步地，所述支撑框架为矩形。

进一步地，所述定位装置数量为四个，分别位于所述支撑框架的边角位置。

进一步地，所述间隔柱为圆柱形。

进一步地，所述间隔柱的数量为24根。

进一步地，所述间隔柱长30mm，直径为3mm。

进一步地，所述多个间隔柱依次均匀排列在中间支架上。

进一步地，所述间隔柱之间的间距为4.76mm。

本实用新型与现有技术相比，其显著优点在于：

本实用新型的高效防黏粘的薄硅片隔片装置可配合设置在硅片花篮上，其上的多个间隔柱正好隔在薄硅片之间，硅片之间就不会因为水的拉力而互相粘黏在一起，同时由于设置多个间隔柱可使得花篮硅片盛放效率提高了一倍，本装置结构简单、体积小、成本低。

附图说明

图1是本实用新型高效防黏粘的薄硅片隔片装置的结构示意图。

图2是本实用新型高效防黏粘的薄硅片隔片装置与花篮配合使用状态图。

图3是间隔柱间隔硅片的示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

结合图1-3，一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，包括支撑框架2、多个定位装置1、多个间隔柱3，所述多个定位装置1设置在支撑框架2上用于实现与硅片花篮5的连接定位，所述支撑框架2包括一中间支架2-1，所述中间支架2-1上设置有所述多个间隔柱3，所述多个定位装置1和多个间隔柱3位于支撑框架2的同一侧。

优选地，所述支撑框架2为矩形。

优选地，所述定位装置1数量为四个，分别位于所述支撑框架2的边角位置。