[实用新型]一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置

权利要求书

1.一种高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，包括支撑框架(2)、多个定位装置(1)、多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)设置在支撑框架(2)上用于实现与硅片花篮(5)的连接定位，所述支撑框架(2)包括一中间支架(2-1)，所述中间支架(2-1)上设置有所述多个间隔柱(3)，所述多个定位装置(1)和多个间隔柱(3)位于支撑框架(2)的同一侧。

2.根据权利要求1所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述支撑框架(2)为矩形。

3.根据权利要求2所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述定位装置(1)数量为四个，分别位于所述支撑框架(2)的边角位置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述间隔柱(3)为圆柱形。

5.根据权利要求4所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述间隔柱(3)的数量为24根。

6.根据权利要求4所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述间隔柱(3)长30mm，直径为3mm。

7.根据权利要求5或6所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述多个间隔柱(3)依次均匀排列在中间支架(2-1)上。

8.根据权利要求7所述的高效防黏粘的薄硅片隔片装置，其特征在于，所述间隔柱(3)之间的间距为4.76mm。