[实用新型]一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置

权利要求书

1.一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于，包括：炉源区(1)和样品区(2)；

所述炉源区(1)包括炉源区腔体(3)、蒸发源(5)和炉源区真空泵(6)；所述蒸发源(5)设置在所述炉源区腔体(3)内部并固定在所述炉源区腔体(3)的内壁上；所述炉源区真空泵(6)连接所述炉源区腔体(3)；

所述样品区(2)包括样品区腔体(4)、衬底台(7)和样品区真空泵(8)；所述衬底台(7)从所述样品区腔体(4)的上方或者侧面插入所述样品区腔体(4)内；所述样品区真空泵(8)设置在所述样品区腔体(4)内部并固定在所述样品区腔体(4)的内壁上；

所述炉源区(1)与所述样品区(2)的连接处设置有差分限流通道(9)；所述炉源区腔体(3)与所述样品区腔体(4)之间通过所述差分限流通道(9)相连。

2.根据权利要求1所述的一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于：所述炉源区腔体(3)可使用圆柱形、多边形柱的一种。

3.根据权利要求2所述的一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于：所述炉源区腔体(3)包括蒸发源凸起和炉源区真空泵凸起；所述蒸发源(5)设置在所述蒸发源凸起内；所述炉源区真空泵(6)通过所述炉源区真空泵凸起与所述炉源区腔体(3)内部相连。

4.根据权利要求1所述的一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于：所述样品区腔体(4)可使用圆柱形、多边形柱的一种。

5.根据权利要求4所述的一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于：所述样品区腔体(4)包括样品区真空泵凸起；所述样品区真空泵凸起设置在所述样品区腔体(4)的一面上；所述样品区真空泵(8)设置在所述样品区真空泵凸起的内部并固定在所述样品区真空泵凸起上。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于：所述炉源区真空泵(6)选自牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵中的一种；所述样品区真空泵(8)选自非蒸散型吸气泵、离子泵和复合分子泵中的一种。

7.根据权利要求1-5任一所述的一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于：所述蒸发源(5)的数量为一个或者多个；所述差分限流通道(9)为一个或者多个。

8.根据权利要求1-5任一所述的一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于：所述蒸发源(5)选自基于电阻加热、电子束加热、高频感应加热、电弧加热和激光加热的蒸发源的一种。

9.根据权利要求1-5任一所述的一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，其特征在于：所述差分限流通道选自圆孔、方孔和V字形导管中的一种或者多种。