[实用新型]一种硅片用测试平台

说明书

本实用新型公开了一种硅片用测试平台，包括底座和底板，所述底座的上方连接有横板，且横板的左端内部贯穿连接有第一控制杆，且横板的右端内部贯穿连接有第二控制杆，所述第一控制杆和第二控制杆的外侧均连接有皮带，所述底板位于横板的上方，且底板的左端内部开设有限位槽，所述底板的上方安装有盛放板，所述盛放板的上表面焊接连接有固定座，所述竖杆与控制件相连接，且控制件的下端连接有固定板，所述横板在底座上为滑动结构，且横板在底座上为伸缩结构，并且横板的宽度和长度尺寸分别与底座的内侧宽度和长度尺寸相等。该硅片用测试平台，硅片定位简单，且便于调节平台与测试头之间的间距尺寸，并且便于保证硅片位置的稳定。

技术领域

本实用新型涉及硅片测试相关技术领域，具体为一种硅片用测试平台。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，而硅片的电阻率是一个十分关键的参数之一，电阻率是否在合格范围内直接影响了硅片的整体性能，因此需要对硅片的电阻率进行测试，同时需要相应的测试平台来辅助工作。

但是当今市场上现有的用于硅片电阻率测试的平台，往往用纸打印了测试模板，移动硅片瞄准测试点，测试5点电阻率，但是该方式硅片定位难，容易测到纸上，引起测试精度偏差大，且现有的测试平台不便于调节平台与测试头之间的间距尺寸，并且不便于保证硅片位置的稳定，因此，我们提出一种硅片用测试平台，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片用测试平台，以解决上述背景技术中提出的大多数硅片电阻率测试的平台硅片定位难，引起测试精度偏差大，且不便于调节平台与测试头之间的间距尺寸，并且不便于保证硅片位置的稳定的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片用测试平台，包括底座和底板，所述底座的上方连接有横板，且横板的左端内部贯穿连接有第一控制杆，且横板的右端内部贯穿连接有第二控制杆，所述第一控制杆和第二控制杆的外侧均连接有皮带，所述底板位于横板的上方，且底板的左端内部开设有限位槽，所述底板的上方安装有盛放板，且盛放板的上表面开设有放置槽，所述盛放板的上表面焊接连接有固定座，且固定座的内部贯穿连接有竖杆，所述竖杆与控制件相连接，且控制件的下端连接有固定板。

优选的，所述横板在底座上为滑动结构，且横板在底座上为伸缩结构，并且横板的宽度和长度尺寸分别与底座的内侧宽度和长度尺寸相等。

优选的，所述第一控制杆和第二控制杆关于横板的竖直中轴线对称设置，且第一控制杆和第二控制杆与横板的连接方式均为螺纹连接，并且第一控制杆和第二控制杆通过皮带构成传动结构。

优选的，所述盛放板的下表面形状与底板的上表面形状相吻合，且盛放板与底板的连接方式为卡合连接。

优选的，所述控制件的纵截面形状为“L”字型，且控制件的下端与固定板的上表面紧密贴合设置。

优选的，所述控制件与竖杆构成转动结构，且竖杆的下端外径尺寸与固定座的内径尺寸相等，并且竖杆与固定座的连接方式为螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该硅片用测试平台，硅片定位简单，且便于调节平台与测试头之间的间距尺寸，并且便于保证硅片位置的稳定；

1、通过将硅片放进盛放板，通过盛放板和底板的共同作用定位5点，测试定位精度准，重复性好，测试精度大大提高；

2、通过在底板的下方设置有横板，且横板在底座上为升降结构，因此能够通过调节横板的高度尺寸来调节盛放板的高度尺寸，进而对硅片与检测头之间的间距尺寸进行调节，便于检测工作的进行；

3、通过在盛放板上设置有固定座、竖杆、控制件和固定板，因此可通过将控制件向下运动，使得固定板将硅片夹紧在盛放板上，防止在检测过程中硅片的意外滑动。

附图说明