[实用新型]一种硅片用测试平台有效

专利信息
申请号: 202020200449.3 申请日: 2020-02-24
公开(公告)号: CN211741371U 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 王林;章斌;沈顺华;纪步成;何龙海 申请(专利权)人: 衢州晶哲电子材料有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R27/02
代理公司: 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 代理人: 高永志
地址: 324022 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 测试 平台
【权利要求书】:

1.一种硅片用测试平台,包括底座(1)和底板(6),其特征在于:所述底座(1)的上方连接有横板(2),且横板(2)的左端内部贯穿连接有第一控制杆(3),且横板(2)的右端内部贯穿连接有第二控制杆(4),所述第一控制杆(3)和第二控制杆(4)的外侧均连接有皮带(5),所述底板(6)位于横板(2)的上方,且底板(6)的左端内部开设有限位槽(7),所述底板(6)的上方安装有盛放板(8),且盛放板(8)的上表面开设有放置槽(9),所述盛放板(8)的上表面焊接连接有固定座(10),且固定座(10)的内部贯穿连接有竖杆(11),所述竖杆(11)与控制件(12)相连接,且控制件(12)的下端连接有固定板(13)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台,其特征在于:所述横板(2)在底座(1)上为滑动结构,且横板(2)在底座(1)上为伸缩结构,并且横板(2)的宽度和长度尺寸分别与底座(1)的内侧宽度和长度尺寸相等。

3.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台,其特征在于:所述第一控制杆(3)和第二控制杆(4)关于横板(2)的竖直中轴线对称设置,且第一控制杆(3)和第二控制杆(4)与横板(2)的连接方式均为螺纹连接,并且第一控制杆(3)和第二控制杆(4)通过皮带(5)构成传动结构。

4.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台,其特征在于:所述盛放板(8)的下表面形状与底板(6)的上表面形状相吻合,且盛放板(8)与底板(6)的连接方式为卡合连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台,其特征在于:所述控制件(12)的纵截面形状为“L”字型,且控制件(12)的下端与固定板(13)的上表面紧密贴合设置。

6.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台,其特征在于:所述控制件(12)与竖杆(11)构成转动结构,且竖杆(11)的下端外径尺寸与固定座(10)的内径尺寸相等,并且竖杆(11)与固定座(10)的连接方式为螺纹连接。

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