[实用新型]阴极溅射靶及溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种阴极溅射靶，其特征在于，包括：

至少两个旋转阴极，所述旋转阴极上安装有旋转靶；

阴极安装腔，用于安装所述旋转阴极；

溅射用容纳壳体，所述阴极安装腔、所述旋转阴极分别设置在所述溅射用容纳壳体内；

驱动组件，所述驱动组件驱动阴极安装腔沿溅射用容纳壳体轴心线旋转；

所述溅射用容纳壳体一端设置有工作侧密封面，另一端设置有维护门，所述工作侧密封面上设置有开口。

2.根据权利要求1所述的阴极溅射靶，其特征在于，所述溅射靶包括一个阴极安装腔，所述阴极安装腔的轴心与溅射用容纳壳体轴心重合。

3.根据权利要求2所述的阴极溅射靶，其特征在于，所述旋转阴极至少包括第一旋转阴极、第二旋转阴极；所述第一旋转阴极和所述第二旋转阴极分别安装在阴极安装腔的异侧；所述第一旋转阴极位于所述工作侧密封面上的开口处时，所述第二旋转阴极位于所述维护门处。

4.根据权利要求1所述的阴极溅射靶，其特征在于，包括多个阴极安装腔，所述多个阴极安装腔分布在以溅射用容纳壳体轴心线为轴的同心圆上。

5.根据权利要求4所述的阴极溅射靶，其特征在于，所述阴极安装腔至少包括第一阴极安装腔、第二阴极安装腔；所述旋转阴极至少包括第一旋转阴极和第二旋转阴极，第一旋转阴极安装在第一阴极安装腔上；第二旋转阴极安装在第二阴极安装腔上。

6.根据权利要求2或4所述的阴极溅射靶，其特征在于，所述驱动组件包括阴极安装腔顶部驱动组件和阴极安装腔底部驱动组件；所述阴极安装腔顶部驱动组件包括驱动电机和驱动轴，所述驱动电机带动驱动轴旋转，所述驱动轴与所述阴极安装腔顶端连接；所述阴极安装腔底部驱动组件包括旋转轴，与阴极安装腔底端连接；所述阴极安装腔顶部驱动组件带动所述阴极安装腔底部驱动组件旋转。

7.根据权利要求3或5所述的阴极溅射靶，其特征在于，所述第一旋转阴极与所述第二旋转阴极材质相同或材质不同。

8.根据权利要求7所述的阴极溅射靶，其特征在于，所述旋转阴极包括传动组件、上端头、下端头和旋转靶，所述上端头、下端头分别安装在旋转靶的两端，旋转靶安装在阴极安装腔上，所述传动组件带动旋转靶自旋转。

9.一种溅射镀膜装置，其特征在于，包括：如权利要求1-8中任意一种所述的阴极溅射靶、真空室和基片，溅射靶中的溅射用容纳壳体的工作侧密封面2与真空室开口处连接，基片置于真空室内且与溅射靶中的旋转靶正对。

10.如权利要求9所述的溅射镀膜装置，其特征在于，所述真空室内设置有让基片穿过的狭缝。