[实用新型]晶圆转载机构的机械臂校准装置

权利要求书

1.一种晶圆转载机构的机械臂校准装置，其特征在于，包括：

一第一机械臂，连结并受一控制模块驱动，在该第一机械臂的活动端上设有一影像攫取组件及一晶圆定位件装卸机构，该影像攫取组件具有一上取像组件，该晶圆定位件装卸机构具有一定位面，在该定位面上设有一定位刻度；

一第二机械臂，连结并受该控制模块驱动，在该第二机械臂的活动端上设有一晶圆取放机构，在该晶圆取放机构上设有一指示刻度；

一主校正机构，设置于该第一、二机械臂的活动范围内，且连结并受该控制模块驱动，以供分别校正该影像攫取组件及晶圆取放机构的位置，该主校正机构具有一下取像组件，在该下取像组件上方设有一透明片，在该透明片上设有一作为定位基准的标准刻度。

2.如权利要求1所述的晶圆转载机构的机械臂校准装置，其特征在于，该主校正机构于该下取像组件旁侧设有一测距雷射光源。

3.如权利要求２所述的晶圆转载机构的机械臂校准装置，其特征在于，该至少二雷射光源分别设置于该定位面外旁侧至少三点。

4.如权利要求1或２或３所述的晶圆转载机构的机械臂校准装置，其特征在于，该定位刻度为选自孔洞或刻度其中之一。

5.如权利要求1或２或３所述的晶圆转载机构的机械臂校准装置，其特征在于，该晶圆取放机构为一可吸取晶圆的晶圆吸盘。