[实用新型]一种用于目检半导体外延片的操作平台

权利要求书

1.一种用于目检半导体外延片的操作平台，包括底板（1），翻转夹紧定位器（2），翻转板（3），旋转板支撑器（4），旋转轴（5），阻挡销（6），硅片支架（7），合页（8）和旋转板（9），其特征在于：

所述底板（1）上设置有两个翻转夹紧定位器（2），所述翻转夹紧定位器（2）上设置有角度调节槽，合页（8）设置在所述两个翻转夹紧定位器（2）之间的底板（1）上；所述翻转板（3）通过所述合页（8）与所述底板（1）铰接翻转；

所述翻转板（3）还包括螺丝，该螺丝穿过所述两个翻转夹紧定位器（2）的角度调节槽，通过螺母将所述翻转板（3）紧固在所述翻转夹紧定位器（2）上；

翻转板（3）上方设置有旋转轴（5）,所述旋转轴（5）贯穿旋转板支撑器（4）固定旋转板（9），所述旋转板支撑器（4）固定在旋转板（9）下方；

所述旋转板（9）上设置有多个阻挡销（6）和硅片支架（7）；其中，所述阻挡销（6）和所述硅片支架（7）形成圆形矩阵排布，以限制外延片的横向位移。

2.如权利要求1所述的用于目检半导体外延片的操作平台，其特征在于，所述翻转夹紧定位器（2）上设置的所述角度调节槽的角度调节范围为0-90°。

3.如权利要求1所述的用于目检半导体外延片的操作平台，其特征在于：所述翻转板（3）上方设置有圆形槽、旋转轴（5）、螺栓和垫片，所述旋转轴（5）放置于所述圆形槽内，通过包括垫片的螺栓从所述翻转板（3）底部向上将所述旋转轴（5）固定在所述翻转板（3）上。

4.如权利要求3所述的用于目检半导体外延片的操作平台，其特征在于：所述旋转轴（5）与所述圆形槽之间还设置有紧固胶圈以稳定旋转板（9）。

5.如权利要求4所述的用于目检半导体外延片的操作平台，其特征在于：所述阻挡销（6）和硅片支架（7）采用高分子化合物材料制成。