[实用新型]失效晶圆研磨装置

权利要求书

1.一种失效晶圆研磨装置，其特征在于，包括：

研磨台，所述研磨台具有研磨面，用于对失效晶圆的待研磨表面进行研磨；研磨液自动滴定单元，用于在所述研磨台对失效晶圆的待研磨表面进行研磨时，向所述研磨台的研磨面上均匀的滴入研磨液。

2.如权利要求1所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述研磨液自动滴定单元包括储液瓶、支架和滴管，所述储液瓶用于储存研磨液，所述支架用于支撑储液瓶，使得储液瓶位于研磨台上方，所述滴管与所述储液瓶连接，所述储液瓶中的研磨液在重力的作用下通过滴管均匀的滴入所述研磨台的研磨面上。

3.如权利要求2所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述储液瓶和滴管之间具有开关，所述开关用于控制从储液瓶流入滴管中研磨液的通断以及控制所述滴管中研磨液的滴速。

4.如权利要求3所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述开关为手动开关，通过设备工艺人员手动打开和关闭所述手动开关。

5.如权利要求4所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述手动开关为阀式开关，所述阀式开关包括入口端和出口端以及位于入口端和出口端之间的调节阀，所述入口端与储液瓶连接，所述出口端与滴管连接，通过手动调节调节阀控制储液瓶流入滴管中研磨液的通断以及控制所述滴管中研磨液的滴速。

6.如权利要求4所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述滴管为软管，所述手动开关为卡合开关，所述卡合开关卡合在软管上，所述卡合开关包括支撑部和与支撑部配合的卡合部，所述支撑部具有一个逐渐抬高的支撑面，所述卡合部设置于支撑面上方，所述滴管从卡合部和支撑面之间通过，通过滑动卡合部，使得卡合部与支撑面之间的距离减小，从而压合滴管，使得滴管中的通路被阻断或者通路的口径变小，以控制储液瓶流入滴管中研磨液的通断以及控制所述滴管中研磨液的滴速。

7.如权利要求4所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述开关为自动开关，通过开关控制信号控制所述自动开关的打开和关闭。

8.如权利要求7所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述失效晶圆研磨装置还包括基座和研磨台驱动单元，所述研磨台驱动单元位于基座上，所述研磨台驱动单元与研磨台连接，用于驱动所述研磨台旋转以及驱动所述研磨台。

9.如权利要求8所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述失效晶圆研磨装置还包括控制单元，所述控制单元用于向所述研磨台驱动单元发送研磨控制信号，以通过研磨台驱动单元控制所述研磨台工作，并通过研磨台驱动单元控制所述研磨台的旋转速度以及旋转时间。

10.如权利要求9所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，当所述开关为自动开关，所述控制单元还用于向所述自动开关发送开关控制信号，所述自动开关在所述开关控制信号控制下打开和关闭以控制滴管中研磨液的通断，所述自动开关还可以在开关控制信号控制下控制开关打开的大小以控制滴管中研磨液的滴速。

11.如权利要求10所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述控制单元在发送研磨控制信号后，发送开关控制信号。

12.如权利要求8所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述研磨台周围的基座中具有研磨液废液收集槽。

13.如权利要求2所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述支架包括横向支架和与横向支架连接的纵向支架，所述横向支架与储液瓶连接，通过调节横向支架或纵向支架的位置，或者通过调节横向支架和纵向支架的位置调节储液瓶的位置。

14.如权利要求13所述的失效晶圆研磨装置，其特征在于，所述横向支架和纵向支架的位置通过手动调节。