[实用新型]一种介质阻挡放电的等离子发生器

说明书

本实用新型提出一种介质阻挡放电的等离子发生器，包括：相对平行设置的第一绝缘介质板和第二绝缘介质板；多个电极单元，每个电极单元均包括内电极和与内电极相对设置的外电极，内电极设在第一绝缘介质板的内侧面与第二绝缘介质板的内侧面之间，外电极分别设在第一绝缘介质板的外侧面和第二绝缘介质板的外侧面；施加在外电极与内电极之间的高频电压。本实用新型的整体结构简单，通过设置了多个电极单元可以解决大尺寸的内外电极容易引起电场强度不同造成局部放电的缺陷，有利于提高等离子体的效率并可有效减少使用过程中的臭氧发生。

技术领域

本实用新型涉及离子发生装置，尤其是涉及一种介质阻挡放电的等离子发生器。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本申请相关的背景信息以方便本领域的技术人员能够更透彻、准确的理解本申请，其并不必然是现有技术。

介质阻挡放电（Dielectric Barrier Discharge，DBD）是有绝缘介质插入放电空间的一种非平衡态气体放电又称介质阻挡电晕放电或无声放电，最显著的特点是能够在大气压下产生稳定的低温等离子体，从而省去了真空装置，具有结构简单、成本低、易操作、重现性好等特点，能够通过无声放电电离空气产生正负离子以对空气进行杀菌消毒。

现有技术采用介质阻挡放电的等离子发生器的结构多样化，主要有平板结构和同轴结构两种。但是这些结构的等离子发生器因为受限于加工工艺和装配工艺导致在实际中很难形成均匀的电场。以平板结构介质阻挡放电的离子发生器为例，是在两个电极中间插入一个绝缘板形成介质阻挡，两个电极往往采用平板结构的大尺寸金属薄板（或金属栅格）来实现，然而，电极由于尺寸较大，刚性较差，在使用过程中很容易发生变形，从而打破两个电极之间的相等距离，造成在电极变形的地方形成局部放电，其它地方没有等离子体的产生，工作效率低，加大高频电源的电压，放电区域增大但容易产生臭氧，导致人体吸入过多的臭氧，反而会对人体健康产生潜在的危害。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种介质阻挡放电的等离子发生器，能够形成稳定均匀的电场。

本实用新型提出一种介质阻挡放电的等离子发生器，其包括：相对平行设置的第一绝缘介质板和第二绝缘介质板；多个电极单元，每个电极单元均包括内电极和与内电极相对设置的外电极，内电极设在第一绝缘介质板的内侧面与第二绝缘介质板的内侧面之间，外电极分别设在第一绝缘介质板的外侧面和第二绝缘介质板的外侧面；施加在外电极与内电极之间的高频电压。

在一个优选实施例中，第一绝缘介质板或/和第二绝缘介质板为石英玻璃板或者陶瓷板。

在一个优选实施例中，第一绝缘介质板或/和第二绝缘介质板的厚度为0.1至3mm。

在一个优选实施例中，内电极或/和外电极为不锈钢板或铜板。

在一个优选实施例中，不锈钢板或铜板上还设有若干栅格。

在一个优选实施例中，高频电压为高频交流电压或高频脉冲电压。

在一个优选实施例中，相邻的两个电极单元之间具有预设的第一间隔，第一间隔是3-20mm。

在一个优选实施例中，内电极的侧边与第一绝缘介质板的侧边或第二绝缘介质板的侧边之间具有预设的第二间隔，第一间隔是3-8mm。

在一个优选实施例中，在第一绝缘介质板和第二绝缘介质板的周侧均设置绝缘材料的边框。

在一个优选实施例中，各个电极单元中内电极通过第一导线并联相连，各个电极单元中外电极通过第二导线并联相连，且第一导线和第二导线均与高频电压电性相连。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：