[实用新型]一种介质阻挡放电的等离子发生器

权利要求书

1.一种介质阻挡放电的等离子发生器，其特征在于，包括：

相对平行设置的第一绝缘介质板（1）和第二绝缘介质板（2）；

多个电极单元（3），每个电极单元（3）均包括内电极（31）和与内电极（31）相对设置的外电极（32），内电极（31）设在第一绝缘介质板（1）的内侧面与第二绝缘介质板（2）的内侧面之间，外电极（32）分别设在第一绝缘介质板（1）的外侧面和第二绝缘介质板（2）的外侧面；

施加在外电极（32）与内电极（31）之间的高频电压（4）。

2.根据权利要求1所述等离子发生器，其特征在于，第一绝缘介质板（1）或/和第二绝缘介质板（2）为石英玻璃板或者陶瓷板。

3.根据权利要求2所述等离子发生器，其特征在于，第一绝缘介质板（1）或/和第二绝缘介质板（2）的厚度为0.1至3mm。

4.根据权利要求1所述等离子发生器，其特征在于，内电极（31）或/和外电极（32）为不锈钢板或铜板。

5.根据权利要求4所述等离子发生器，其特征在于，不锈钢板或铜板上还设有若干栅格。

6.根据权利要求1所述等离子发生器，其特征在于，高频电压（4）为高频交流电压或高频脉冲电压。

7.根据权利要求1所述等离子发生器，其特征在于，相邻的两个电极单元（3）之间具有预设的第一间隔，第一间隔是3-20mm。

8.根据权利要求1所述等离子发生器，其特征在于，内电极（31）的侧边与第一绝缘介质板（1）的侧边或第二绝缘介质板（2）的侧边之间具有预设的第二间隔，第一间隔是3-8mm。

9.根据权利要求1所述等离子发生器，其特征在于，在第一绝缘介质板（1）和第二绝缘介质板（2）的周侧均设置绝缘材料的边框（5）。

10.根据权利要求1-9任何一项所述等离子发生器，其特征在于，各个电极单元（3）中内电极（31）通过第一导线（61）并联相连，各个电极单元（3）中外电极（32）通过第二导线（62）并联相连，且第一导线（61）和第二导线（62）均与高频电压（4）电性相连。