[实用新型]一种石墨舟有效
| 申请号： | 202020133446.2 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN211088231U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 赵帅;刘道旺;夏中雪 | 申请（专利权）人： | 徐州谷阳新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 | 代理人： | 李玉平 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 | ||
1.一种石墨舟，包括外舟片（1）、内舟片（2），其特征在于：所述外舟片（1）相背的表面上设有防护机构（3），所述防护机构（3）包括布套条（4）、纱布（5），所述布套条（4）的表面开设有九个套孔（6），所述内舟片（2）的表面上对称设有九个限位机构（7），所述限位机构（7）包括固定外圆环（8）、限位内圆环（9）、限位耳（10），所述固定外圆环（8）位于内舟片（2）的表面，所述内舟片（2）的表面开设有九个镂空框A，所述内舟片（2）与镂空框A的连接处设有倒角（11）。
2.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述外舟片（1）、内舟片（2）的表面上均对称开设有九个通孔，所述限位内圆环（9）的内圆直径比通孔的直径小1mm，所述限位内圆环（9）的内圆圆心与通孔的圆心处于同一直线上。
3.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述固定外圆环（8）的表面对称开设有“T”型结构的限位槽，所述限位耳（10）为“T”型结构，所述限位耳（10）远离限位内圆环（9）的端部为弧形形状，所述限位耳（10）与限位槽匹配。
4.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述布套条（4）、纱布（5）均为PET纤维面料制造。
5.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述倒角（11）尺寸长度为0.5mm，宽度为0.5mm，所述内舟片（2）的厚度为2.5mm。
6.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：若干所述内舟片（2）通过陶瓷杆串联在外舟片（1）内，且若干内舟片（2）均处于竖直状态且间距相同。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
