[实用新型]一种半导体行业用石墨籽晶夹有效
| 申请号: | 202020129708.8 | 申请日: | 2020-01-20 |
| 公开(公告)号: | CN211182179U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
| 发明(设计)人: | 周英龙 | 申请(专利权)人: | 南京畅鸿新材料有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 黄胡生 |
| 地址: | 210000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 行业 石墨 籽晶 | ||
本实用新型提供一种半导体行业用石墨籽晶夹,涉及光伏技术领域,包括锤接头、钼接头与籽晶,所述钼接头顶部设有凹槽,所述凹槽一侧设有卡板,所述锤接头一侧设有连接块,所述连接块顶端设有弹片,所述弹片上绕设有第二弹簧,所述卡板一侧设有若干卡槽,所述弹片与所述卡槽相卡接,所述锤接头底部设有连接杆,所述连接杆上绕设有第一弹簧,所述连接杆通过所述第一弹簧与所述凹槽相连;所述钼接头底部设有螺孔,所述钼接头与所述籽晶间设有小石墨夹,所述小石墨夹通过所述螺孔与所述钼接头相连,所述小石墨夹底部套设有大石墨夹,所述籽晶两端贯穿有圆柱通孔。本实用新型结构稳定,易更换使用。
技术领域
本实用新型属于光伏技术领域,具体涉及一种半导体行业用石墨籽晶夹。
背景技术
现有石墨籽晶夹结构为偏心孔插销式吊装,成本昂贵,对精度要求较高,不易加工,随着使用时间增加,磨损老化,精度降低,掉棒风险大大增加,经高温烧结,钼夹头与不锈钢锤口出无法分离,不利于更换。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种半导体行业用石墨籽晶夹。
本实用新型提供了如下的技术方案:
一种半导体行业用石墨籽晶夹,包括锤接头、钼接头与籽晶,所述钼接头的顶部设有凹槽,所述凹槽的一侧的所述钼接头上设有卡板,所述锤接头的一侧设有连接块,所述连接块的顶端设有弹片,所述弹片上绕设有第二弹簧,所述卡板的一侧设有若干卡槽,所述弹片与所述卡槽相卡接,所述锤接头的底部设有连接杆,所述连接杆上绕设有第一弹簧,所述连接杆通过所述第一弹簧与所述凹槽相连;所述钼接头的底部设有螺孔,所述钼接头与所述籽晶之间设有小石墨夹,所述小石墨夹一端通过所述螺孔与所述钼接头相连,所述小石墨夹的另一端套设有大石墨夹,所述籽晶上设有圆柱通孔,所述小石墨夹套设所述大石墨夹的一端穿入所述圆柱通孔与所述籽晶匹配相接。
优选地,所述锤接头的顶部设有吊装孔。
优选地,所述大石墨夹上设有螺纹,所述大石墨夹与所述籽晶螺纹连接。
优选地,所述小石墨夹与所述大石墨夹都是高强度石墨,且都经过高炖热处理。
本实用新型的有益效果是:本实用新型设计结构合理,通过使用卡板上的凹槽与弹片连接,弹片底部设有弹簧与连接块,这样锤接头可以根据使用的长度来改变,也便于取下来,锤接头底部设有弹簧,是为了增加装置的稳定性,小石墨夹套设在大石墨夹上,且大石墨夹表面螺纹与圆柱通孔的螺纹孔匹配相连,此时连接更佳紧固,避免来籽晶的掉落,降低来损失。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型结构示意图;
图2是本实用新型A部分放大结构示意图。
图中标记为:1.锤接头,2.第一弹簧,3.钼接头,4.小石墨夹,5.籽晶,6.大石墨夹,7.连接杆,8.卡板,9.吊装孔,10.连接块,11.第二弹簧,12.弹片,13.卡槽,14.凹槽,15.螺孔,16.圆柱通孔。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





