[实用新型]一种便于测试电阻的晶圆凸块有效
| 申请号: | 202020117834.1 | 申请日: | 2020-01-18 |
| 公开(公告)号: | CN211480016U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
| 发明(设计)人: | 戴传勇 | 申请(专利权)人: | 联立(徐州)半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/48 |
| 代理公司: | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人: | 范圆圆 |
| 地址: | 221000 江苏省徐州市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 便于 测试 电阻 晶圆凸块 | ||
1.一种便于测试电阻的晶圆凸块,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上方连接有芯片垫(7),所述芯片垫(7)的上方设有冶金层,冶金层的上方连接有凸块本体(5),凸块本体(5)的上方设有测试连接件。
2.根据权利要求1所述的一种便于测试电阻的晶圆凸块,其特征在于:所述冶金层包括粘附层(2)、保护层(3)和润湿层(4),且粘附层(2)、保护层(3)和润湿层(4)从下至上依次设置。
3.根据权利要求2所述的一种便于测试电阻的晶圆凸块,其特征在于:所述粘附层(2)为钛或铬构件,保护层(3)为金或铜构件,润湿层(4)为镍或铜构件。
4.根据权利要求3所述的一种便于测试电阻的晶圆凸块,其特征在于:所述凸块本体(5)为球形结构,且凸块本体(5)为锡铅合金构件。
5.根据权利要求4所述的一种便于测试电阻的晶圆凸块,其特征在于:所述测试连接件为嵌入设置在凸块本体(5)顶部的圆槽(6)。
6.根据权利要求4所述的一种便于测试电阻的晶圆凸块,其特征在于:所述测试连接件为焊接在凸块本体(5)顶部的铜柱(8)。
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