[实用新型]一种新型光学镀膜用真空腔体

说明书

本实用新型属于真空镀膜技术领域，尤其为一种新型光学镀膜用真空腔体，包括真空腔主体，所述真空腔主体的内侧壁通过转轴转动连接有隔板，所述隔板的底部通过转轴转动连接有伸缩套筒，所述伸缩套筒的端部通过转轴与真空腔主体的内侧壁转动连接，所述伸缩套筒的表面套接有支撑弹簧，所述真空腔主体的内壁安装有温度传感器和控制器。本实用新型通过设置的隔板、伸缩套筒、支撑弹簧、温度传感器和控制器之间的配合使得真空腔主体内的温度没有达到镀膜要求的时候不对材料进行镀膜工作，避免了在进行镀膜的时候，如果温度还未达到标准就将镀膜材料放置其中进行镀膜，导致镀膜效果未达到要求，影响后续的使用。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种新型光学镀膜用真空腔体。

背景技术

在有机发光二极管的制作流程中，真空镀膜工艺是有机发光二极管制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜，囚为它是关系到有机发光二极管的品质高低及寿命长短的最重要因素之，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。

但是现有的真空腔体还存在以下问题：

1、在进行镀膜的时候，如果温度还未达到标准就将镀膜材料放置其中进行镀膜，导致镀膜效果未达到要求，影响后续的使用；

2、在进行镀膜的时候不便对被镀膜材料进行夹持固定，导致在进行镀膜的时候因为晃动，导致镀膜不均匀。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种新型光学镀膜用真空腔体，解决了以上背景提出的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型光学镀膜用真空腔体，包括真空腔主体，所述真空腔主体的内侧壁通过转轴转动连接有隔板，所述隔板的底部通过转轴转动连接有伸缩套筒，所述伸缩套筒的端部通过转轴与真空腔主体的内侧壁转动连接，所述伸缩套筒的表面套接有支撑弹簧，所述真空腔主体的内壁安装有温度传感器和控制器，所述真空腔主体的内底壁固定连接有蒸发源，所述真空腔主体的内顶壁固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底部固定连接有固定板，所述固定板的底部固定连接有抵杆。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定板的底部固定连接有限位板，所述限位板的侧边贯穿连接连接有限位杆，所述限位杆的端部固定连接有夹持板，所述夹持板和限位板之间固定连接有夹持弹簧，所述夹持弹簧套接在限位杆的表面。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空腔主体的内侧壁开设有连接槽，所述连接槽的内壁上固定连接有连接弹簧，所述连接弹簧的端部固定连接有连接销，所述连接销与隔板的底部接触。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空腔主体的内壁固定连接有隔热棉，所述夹持板的侧边固定连接有弹性板。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抵杆的底部固定连接有弹性块，弹性块与隔板的顶部接触。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述限位杆的端部固定连接有限位盘，所述限位板的侧边开设有连接孔，所述限位盘的直径大于连接孔的孔径。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种新型光学镀膜用真空腔体，具备以下有益效果：

1、该新型光学镀膜用真空腔体，通过设置的隔板、伸缩套筒、支撑弹簧、温度传感器和控制器之间的配合使得真空腔主体内的温度没有达到镀膜要求的时候不对材料进行镀膜工作，避免了在进行镀膜的时候，如果温度还未达到标准就将镀膜材料放置其中进行镀膜，导致镀膜效果未达到要求，影响后续的使用。