[实用新型]一种新型光学镀膜用真空腔体有效
| 申请号： | 202020111488.6 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN211471544U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 杨玉飞 | 申请（专利权）人： | 江阴慕达斯真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 光学 镀膜 空腔 | ||
1.一种新型光学镀膜用真空腔体，包括真空腔主体(1)，其特征在于：所述真空腔主体(1)的内侧壁通过转轴转动连接有隔板(2)，所述隔板(2)的底部通过转轴转动连接有伸缩套筒(3)，所述伸缩套筒(3)的端部通过转轴与真空腔主体(1)的内侧壁转动连接，所述伸缩套筒(3)的表面套接有支撑弹簧(4)，所述真空腔主体(1)的内壁安装有温度传感器(5)和控制器(6)，所述真空腔主体(1)的内底壁固定连接有蒸发源(7)，所述真空腔主体(1)的内顶壁固定连接有电动推杆(8)，所述电动推杆(8)的底部固定连接有固定板(9)，所述固定板(9)的底部固定连接有抵杆(10)。
2.根据权利要求1所述的一种新型光学镀膜用真空腔体，其特征在于：所述固定板(9)的底部固定连接有限位板(12)，所述限位板(12)的侧边贯穿连接连接有限位杆(13)，所述限位杆(13)的端部固定连接有夹持板(14)，所述夹持板(14)和限位板(12)之间固定连接有夹持弹簧(15)，所述夹持弹簧(15)套接在限位杆(13)的表面。
3.根据权利要求1所述的一种新型光学镀膜用真空腔体，其特征在于：所述真空腔主体(1)的内侧壁开设有连接槽(16)，所述连接槽(16)的内壁上固定连接有连接弹簧(17)，所述连接弹簧(17)的端部固定连接有连接销(18)，所述连接销(18)与隔板(2)的底部接触。
4.根据权利要求2所述的一种新型光学镀膜用真空腔体，其特征在于：所述真空腔主体(1)的内壁固定连接有隔热棉(11)，所述夹持板(14)的侧边固定连接有弹性板(19)。
5.根据权利要求1所述的一种新型光学镀膜用真空腔体，其特征在于：所述抵杆(10)的底部固定连接有弹性块，弹性块与隔板(2)的顶部接触。
6.根据权利要求2所述的一种新型光学镀膜用真空腔体，其特征在于：所述限位杆(13)的端部固定连接有限位盘(20)，所述限位板(12)的侧边开设有连接孔，所述限位盘(20)的直径大于连接孔的孔径。
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