[实用新型]一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台

说明书

本实用新型半导体测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，真空腔体设置电信接口、冷源接口、抽气接口和三维移动机构接口，并且真空腔体内设置载物台，载物台设置冷源流通管道，真空腔体外的冷源装置通过循环管道与所述冷源流通管道相接，并且载物台底面设置加热部件，真空腔体通过真空接头把光电信号引入真空腔体内的同时也能保证真空腔体的真空度；制冷剂直接通过载物台循环，能够实现快速降温，同时配合加热部件，通过加热与降温交替进行，快速达到半导体的测试温度，大大缩减测试时间，提升半导体器件的测试效率。

技术领域

本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台。

背景技术

随着半导体行业的迅猛发展，对半导体器件的研究要求越来越高，特别是真空环境、高温环境、极低温环境等不同环境中的测试情况越来越多。对这些测试一些厂家是通过购买进口设备完成，但是价格昂贵，一些厂家是通过自己研发的设备来完成，但是功能单一，而且性能较差，严重影响国内半导体器件研发的效率。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，能够在真空环境下对半导体器件进行高温测试或者低温测试，并将测试的电参数导出。

一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，所述三维移动机构与真空腔体相接，所述电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构均安装于三维移动机构上且置于真空腔体内，所述真空腔体内设置载物台，载物台设置冷源流通管道和加热部件。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述真空腔体设置盖板，盖板中部设置透明观察窗口。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述真空腔体设置抽气接口，抽气接口与真空腔体外的抽气装置连接。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述真空腔体设置三维移动机构接口，三维移动机构包括三维移动座和安装于三维移动座上的三维移动杆，所述三维移动杆依次穿设过波纹管、三维移动机构接口置于真空腔体内，并且所述波纹管的两端分别与三维移动机构接口和三维移动座密封连接。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述真空腔体设置电信接口，电学测试机构包括探针夹具和安装于探针夹具上的探针，所述探针夹具固接于三维移动杆的端部，并且探针夹具通过真空接头安装于所述电信接口处，将电信参数引出真空腔体外。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述光学测试机构包括固接于三维移动杆端部的光源。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述光学观察机构还包括调节杆和安装于调节杆上的调焦架，所述显微镜安装于调焦架上且置于观察窗口的上方。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述载物台设置的冷源流通管道通过循环管道与空腔体外的冷源装置相接。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述真空腔体还设置控制冷源剂在循环管道内流量的针阀。

作为本实用新型一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台的进一步改进，所述载物台还设置温度传感器，温度传感器和载物台底面设置的加热部件与真空腔体外的温度控制装置相接。