[实用新型]一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台

权利要求书

1.一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：包括真空腔体、三维移动机构、电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构，所述三维移动机构与真空腔体相接，所述电学测试机构、光学测试机构和光学观察机构均安装于三维移动机构上且置于真空腔体内，所述真空腔体内设置载物台，载物台设置冷源流通管道和加热部件。

2.根据权利要求1所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述真空腔体设置盖板，盖板中部设置透明观察窗口。

3.根据权利要求2所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述真空腔体设置抽气接口，抽气接口与真空腔体外的抽气装置连接。

4.根据权利要求3所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述真空腔体设置三维移动机构接口，三维移动机构包括三维移动座和安装于三维移动座上的三维移动杆，所述三维移动杆依次穿设过波纹管、三维移动机构接口置于真空腔体内，并且所述波纹管的两端分别与三维移动机构接口和三维移动座密封连接。

5.根据权利要求4所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述真空腔体设置电信接口，电学测试机构包括探针夹具和安装于探针夹具上的探针，所述探针夹具固接于三维移动杆的端部，并且探针夹具通过真空接头安装于所述电信接口处，将电信参数引出真空腔体外。

6.根据权利要求4所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述光学测试机构包括固接于三维移动杆端部的光源。

7.根据权利要求4所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述光学观察机构还包括调节杆和安装于调节杆上的调焦架，所述调焦架安装显微镜，所述显微镜置于观察窗口的上方。

8.根据权利要求4所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述载物台设置的冷源流通管道通过循环管道与空腔体外的冷源装置相接。

9.根据权利要求8所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述真空腔体还设置控制冷源剂在循环管道内流量的针阀。

10.根据权利要求8所述一种用于半导体器件的真空高低温测试探针台，其特征在于：所述载物台还设置温度传感器，温度传感器和载物台底面设置的加热部件与真空腔体外的温度控制装置相接。