[实用新型]一种用于晶圆载具的充气柜体

权利要求书

1.一种用于晶圆载具的充气柜体，其特征在于，包括柜体(4)，所述柜体(4)包括上柜体(13)和下柜体(14)，所述上柜体(13)为一侧开口的柜体结构设置，所述上柜体(13)的底部设置有XMC盘面固定板(8)，所述XMC盘面固定板(8)上设置有XMC手动调节盘面(12)，所述上柜体(13)的一侧面设置有触控屏(9)，所述触控屏(9)通过可调节支架(10)与上柜体(13)相连接，所述触控屏(9)一侧的上柜体(13)上还设置有信号塔(11)，所述XMC手动调节盘面(12)的底部设置有操作面板(7)，所述下柜体(14)上设置有可自由开合的柜门(2)，所述柜门(2)上设置有把手(3)，所述下柜体(14)的底部设置有移动固定底座。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆载具的充气柜体，其特征在于，所述移动固定底座包括移动轮(1)、地板固定锁件(15)和急停开关(16)，所述移动轮(1)分别设置在移动固定底座的底部四周位置，所述移动轮(1)上均设置有急停开关(16)，所述移动固定底座左右两侧的底部分别设置有若干个地板固定锁件(15)。

3.如权利要求2所述的一种用于晶圆载具的充气柜体，其特征在于，所述移动固定底座左右两侧的底部分别设置有两个地板固定锁件(15)。

4.如权利要求2所述的一种用于晶圆载具的充气柜体，其特征在于，所述地板固定锁件(15)通过螺栓与地板固定连接设置。

5.如权利要求1所述的一种用于晶圆载具的充气柜体，其特征在于，所述操作面板(7)上设置有开关按钮(5)和音响扩音孔(6)。

6.如权利要求1所述的一种用于晶圆载具的充气柜体，其特征在于，所述柜体(4)为钣金柜体结构设置。

7.如权利要求1所述的一种用于晶圆载具的充气柜体，其特征在于，所述上柜体(13)的外侧设置有亚克力板。

8.如权利要求1所述的一种用于晶圆载具的充气柜体，其特征在于，所述信号塔(11)为报警灯，所述信号塔(11)通过固定钣金件固定设置在上柜体(13)上。