[实用新型]一种环保型半导体切割研磨水微孔过滤系统

权利要求书

1.一种环保型半导体切割研磨水微孔过滤系统，包括原液罐（1）、与所述原液罐（1）相连通的过滤罐（6）、安装在所述过滤罐（6）内的过滤组件（2）、与所述过滤组件（2）相连通的滤清液罐（3）和为过滤提供动力的原料泵（4），其特征在于，所述过滤组件（2）包括用于连通所述滤清液罐（3）与所述过滤罐（6）的连接管（21），所述连接管（21）悬伸至所述过滤罐（6）内，所述连接管（21）于所述过滤罐（6）内连接有过滤器（22）,所述微孔过滤系统还包括吹气组件（7），所述吹气组件（7）包括压缩空气储气罐（71），所述压缩空气储气罐（71）通过一正吹管（72）连通至所述过滤罐（6）内，所述正吹管（72）正对过滤器（22），所述正吹管（72）上设置有正吹阀（73），所述压缩空气储气罐（71）通过一反吹管（74）连通至连接管（21），所述反吹管（74）上设置有反吹阀，所述过滤罐（6）的下方设置有排渣阀（5）。

2.根据权利要求1所述的一种环保型半导体切割研磨水微孔过滤系统，其特征在于：所述过滤罐（6）的顶部设置有与所述过滤罐（6）内相连通的排气管（65），所述排气管（65）上设置有排气阀（66）。

3.根据权利要求2所述的一种环保型半导体切割研磨水微孔过滤系统，其特征在于：所述排气管（65）上设置有对液体流量进行检测的检测流量计（67）。

4.根据权利要求1所述的一种环保型半导体切割研磨水微孔过滤系统，其特征在于：所述连接管（21）上设置有滤清液流量计（24）。

5.根据权利要求1所述的一种环保型半导体切割研磨水微孔过滤系统，其特征在于：所述过滤罐（6）的下部直径逐渐减小呈漏斗状。

6.根据权利要求1所述的一种环保型半导体切割研磨水微孔过滤系统，其特征在于：所述过滤器（22）包括多组并联设置的滤芯，所述滤芯内填充有微孔薄膜。

7.根据权利要求6所述的一种环保型半导体切割研磨水微孔过滤系统，其特征在于：所述微孔薄膜的孔径为0.5μm。