[实用新型]一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构

说明书

本实用新型涉及一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构，包括：机架，所述机架底部设置有载重轮且其侧面设置有推车把手；水槽，所述水槽设置在所述机架内，其与至少三个管路连通且其内设置有加热器，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；所述水槽为PP水槽；抽水组件。这样一方面起到一定的耐腐蚀效果，而且便于与其它结构进行配合。

技术领域

本实用新型属于管路清洗设备领域，具体来说，是一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构。

背景技术

目前，市面上能够提供的机电管道清洗服务，大多采用人工手持高压水枪，放入管内清洗的方法。但是，由于操作人员的失误，极易造成许多精密的机电部件损害。同时，这种控制方法也大大地受到了管道尺寸的限制。近些年，市面上也出现了管道手动清洗设备。但往往需要依赖外部气源保证管内气压恒定，也有一些商家采用设备内部自带气源进行抽水循环等。因此需要设计操作安全、清洗高效以及可使用内、外部气源的管道清洗机。盛液结构是管道清洗机的基本组成部分，它用于盛放清洗液而需要具有一定的抗腐蚀性。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构。

为达到上述目的，本实用新型提供一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构，包括：

机架，所述机架底部设置有载重轮且其侧面设置有推车把手；

水槽，所述水槽设置在所述机架内，其与至少三个管路连通且其内设置有加热器，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；所述水槽为PP水槽；

抽水组件，所述抽水组件设置在所述机架内，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机和循环泵。

优化地，所述水槽内设置有可以滑动取出的拖拉式过滤装置，所述拖拉式过滤装置设置在所述回水管路位于所述水槽内的管口下方。

优化地，所述拖拉式过滤装置为拖拉式拦网。

优化地，所述水槽与六个管路连通，包括药液补充管路、纯水补充管路、回水管路、排气管路、第一抽水管路和第二抽水管路，所述第一抽水管路与所述抽水组件连接，所述第二抽水管路与所述废液排水管连接，所述第二抽水管路上设置有控制其通断的废水管路电磁阀。

由于采用上述技术方案，本实用新型达到以下有益效果：本实用新型移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构，采用在机架内安装PP水槽并与特定结构的管路和抽水组件结构进行连接，这样一方面起到一定的耐腐蚀效果，而且便于与其它结构进行配合，从而既可以使用外部气源并可以采用内部气源保证管内气压。

附图说明

图1为本实用新型的俯视图；

图2为本实用新型的左视图；

图3为本实用新型的右视图。

图中标记说明如下：

1-第一推车把手；2-第二推车把手；3-拖拉式拦网；4-PP水槽；5-载重轮；6-纯水补充口；7-酸碱值侦测器；8-液位感应器；9-防漏托盘；10-废液排水口；11-抽水马达；12-鼓风机；14-触控屏；15-出水口；16-药液补充口；17-排水口；18-回水口；19-EMO紧急停止按钮；20-CDA/N2接口；21-回水电磁阀；22-抽水电磁阀；23-废水管路电磁阀；24-鼓风机出口阀。

具体实施方式