[实用新型]一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构

权利要求书

1.一种移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构，其特征在于，包括：

机架，所述机架底部设置有载重轮（5）且其侧面设置有推车把手；

水槽，所述水槽设置在所述机架内，其与至少三个管路连通且其内设置有加热器，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；所述水槽为PP水槽；

抽水组件，所述抽水组件设置在所述机架内，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达（11）、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机（12）和循环泵。

2.根据权利要求1所述的移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构，其特征在于：所述水槽（4）内设置有可以滑动取出的拖拉式过滤装置，所述拖拉式过滤装置设置在所述回水管路位于所述水槽（4）内的管口下方。

3.根据权利要求2所述的移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构，其特征在于：所述拖拉式过滤装置为拖拉式拦网（3）。

4.根据权利要求1所述的移动式半导体制程管路清洗装置用盛液结构，其特征在于：所述水槽与六个管路连通，包括药液补充管路、纯水补充管路、回水管路、排气管路、第一抽水管路和第二抽水管路，所述第一抽水管路与所述抽水组件连接，所述第二抽水管路与所述废液排水管连接，所述第二抽水管路上设置有控制其通断的废水管路电磁阀（23）。