[实用新型]一种半导体制程管路清洗装置

说明书

本实用新型涉及一种半导体制程管路清洗装置，包括：机架；设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；设置在所述机架内的抽水组件；控制系统。与现有技术相比，本实用新型同时设置有CDA/N2外接口和鼓风机与抽水管路连通，在工作时，既可以使用外部气源，也可以采用内部气源保证管内气压，同时设置有多个传感器、电磁阀和继电器，通过多重的检查控制保证了工作时的设备运行安全。

技术领域

本实用新型属于管路清洗设备领域，具体来说，是一种半导体制程管路清洗装置。

背景技术

随着机电行业的迅猛发展，各式各样的机电产品总量急剧增加。同时，机电产品内设置有各式各样的管路，包括输油管路、排气管路等，长期使用后管道壁将会产生油垢和污垢积累。因此，机电设备内部的管道必须定期维护、检测、清洗，否则大量污垢的积累，在一定条件下，极易酿成设备停转、短路造成安全事故。半导体制程管路的要求更为严格。

目前，市面上能够提供的机电管道清洗服务，大多采用人工手持高压水枪，放入管内清洗的方法。但是，由于操作人员的失误，极易造成许多精密的机电部件损害。同时，这种控制方法也大大地受到了管道尺寸的限制。为了提高清洗效率，个别服务商采用了一些具有腐蚀性的清洁剂，长远来讲，对机电设备的内部管道会造成极大损害。近些年，市面上也出现了管道手动清洗设备。但往往需要依赖外部气源保证管内气压恒定，也有一些商家采用设备内部自带气源进行抽水循环等，这样的设计如果遇到外部气源故障或者内部气源故障的情况便无法使用，同时也有很大的不稳定性，容易造成管道的破裂、侧漏，严重的甚至会造成管道炸裂，严重损害机电设备和人身安全。

因此，如何设计出一种操作安全、清洗高效以及可使用内、外部气源的管道清洗机及清洗管路的方法是业界亟待解决的技术问题。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种操作安全、清洗高效以及可使用内、外部气源的半导体制程管路清洗装置。

为达到上述目的，本实用新型提供一种半导体制程管路清洗装置，包括：

机架；

设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；

所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接；

设置在所述机架内的抽水组件，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机和循环泵；

调节组件，所述调节组件包括控制所述抽水马达的抽水电磁阀、控制所述鼓风机的鼓风机出口阀以及控制所述回水管路导通的回水电磁阀。优化地，所述水槽与六个管路连通，包括药液补充管路、纯水补充管路、回水管路、排气管路、第一抽水管路和第二抽水管路，所述第一抽水管路与所述抽水组件连接，所述第二抽水管路与所述废液排水管连接，所述第二抽水管路上设置有控制其通断的废水管路电磁阀。

优化地，它还包括控制系统，所述控制系统包括人机交互系统，所述人机交互系统包括控制板、触控屏、所述调节组件和报警装置，所述调节组件还包括检测所述抽水管路气压的压力传感器、检测所述水箱内水位的液位传感器和水温传感器；所述调节组件和报警装置都与所述人机交互系统的控制板电连接。进一步地，还包括检测所述水槽内液体酸碱值的酸碱值检测器和停止设备运转的EMO紧急停止按钮，所述酸碱值检测器和所述EMO紧急停止按钮均与所述控制板电连接。

进一步地，所述水槽为PP水槽。

进一步地，所述机架设置有推车把手和载重轮。