[实用新型]一种半导体制程管路清洗装置

权利要求书

1.一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，包括：

机架；

设置在所述机架内的水槽，其与至少三个管路连通，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；

所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接，所述水槽内还设置有加热器；

设置在所述机架内的抽水组件，包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达（11）、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机（12）和循环泵；

调节组件，所述调节组件包括控制所述抽水马达（11）的抽水电磁阀（22）、控制所述鼓风机（12）的鼓风机出口阀（24）以及控制所述回水管路导通的回水电磁阀（21）。

2.如权利要求1所述的一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，所述水槽与六个管路连通，包括药液补充管路、纯水补充管路、回水管路、排气管路、第一抽水管路和第二抽水管路，所述第一抽水管路与所述抽水组件连接，所述第二抽水管路与所述废液排水管连接，所述第二抽水管路上设置有控制其通断的废水管路电磁阀（23）。

3.如权利要求1所述的一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，它还包括控制系统，所述控制系统包括人机交互系统，所述人机交互系统包括控制板、触控屏、所述调节组件和报警装置，所述调节组件还包括检测所述抽水管路气压的压力传感器、检测水箱内水位的液位传感器（8）和水温传感器；所述调节组件和报警装置都与所述人机交互系统的控制板电连接。

4.如权利要求3所述的一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，还包括检测所述水槽内液体酸碱值的酸碱值检测器（7）和停止设备运转的EMO紧急停止按钮（19），所述酸碱值检测器（7）和所述EMO紧急停止按钮（19）均与所述控制板电连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，所述水槽为PP水槽（4）。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，所述机架设置有推车把手和载重轮（5）。

7.如权利要求1所述的一种半导体制程管路清洗装置，其特征在于，所述水槽（4）内设置有可以滑动取出的拖拉式过滤装置，所述拖拉式过滤装置设置在所述回水管路位于所述水槽（4）内的管口下方。