[实用新型]硅片的清洗甩干装置

权利要求书

1.一种硅片的清洗甩干装置，包括机架，其特征在于，还包括旋转轴、罩筒、喷气管和喷水管，上述旋转轴竖直设置且旋转轴下端轴向固连在机架上，所述旋转轴上端具有用于定位硅片的定位部，上述罩筒与旋转轴同轴心线设置且罩筒套在旋转轴上，所述机架与罩筒之间具有驱动机构，驱动机构能带动罩筒相对于旋转轴上下移动，初始状态时罩筒位于定位部的下部处，当驱动机构带动罩筒上移后罩筒能将定位部完全罩住。

2.根据权利要求1所述的硅片的清洗甩干装置，其特征在于，所述旋转轴中心处具有吸附管，吸附管下端用于与气泵相连接，硅片受到吸附管上端的吸附后能抵靠在定位部处。

3.根据权利要求2所述的硅片的清洗甩干装置，其特征在于，所述定位部呈平面状，上述硅片与定位部之间能面接触。

4.根据权利要求3所述的硅片的清洗甩干装置，其特征在于，所述喷气管固连在机架上，喷气管上端具有弯折的出气段且出气段靠近于上述定位部。

5.根据权利要求4所述的硅片的清洗甩干装置，其特征在于，所述喷水管固连在机架上，喷水管上端具有弯折的出水段且出水段靠近于上述定位部。

6.根据权利要求5所述的硅片的清洗甩干装置，其特征在于，所述机架上具有凸出的连接部，上述喷气管和喷水管中部均固连在连接部处。

7.根据权利要求6所述的硅片的清洗甩干装置，其特征在于，所述驱动机构包括固连在机架上的气缸，气缸的缸体固连在机架上，气缸的活塞杆与罩筒固连。

8.根据权利要求7所述的硅片的清洗甩干装置，其特征在于，所述机架上固连有电机，电机与旋转轴连接。