[实用新型]芯片清洗机及其上下料机构

说明书

本实用新型公开了一种芯片清洗机及其上下料机构，应用于芯片清洗机上，该芯片清洗机具有机架及设置在机架上的清洗装置，该上下料机构包括：移栽机构，设置于所述清洗装置上，用于为所述清洗装置进行自动上下料；入料模组，设置于所述机架上，用于存放芯片；以及取料机构，与所述移栽机构相互垂直设置，用于抓取所述入料模组上的芯片并进行定位和放置清洁后的芯片。本实用新型采用氮气加热后对清洁后的芯片进行干燥处理，可有效的除去芯片上残留的水渍水痕，干燥后的芯片放置数月依然不发生霉变，干燥效果好，并且可以精准的实现对芯片的定位上料，适合推广使用。

技术领域

本实用新型涉及清洗设备领域，特别涉及一种芯片清洗机及其上下料机构。

背景技术

芯片一般是指集成电路的载体，也是集成电路经过设计、制造、封装、测试后的结果，通常是一个可以立即使用的独立的整体。而由于在生产过程中，芯片表面会有部分的金属碎片以及其他污渍，因此在芯片生产完成的最后工序需要对芯片进行清洁。

现有的中国专利申请好201910310896.6，名称为一种用于芯片的全自动清洗装置及其清洗工艺所公开的全自动清洗装置，虽然可以实现对芯片进行清洁，但是在清洁上料过程中无法实现对对芯的精准上料，导致清洁过程中工作台无法进行更高的速度旋转，导致效率低下，另外清洁后的芯片表面上看是干净，实际上依然存在水痕，并且清洁后芯片放置一段时间后极易发生霉变而影响芯片的使用。

因此急需研发一款可以快速精准定位上下料机构，且有可以对芯片进行有效干燥的芯片清洗机。

发明内容

本实用新型提供了一种自动化程度高，结构简单，操作方便且综合性能优越的芯片清洗机及其上下料机构，以解决现有上述等技术问题。

为解决上述所述的技术问题，本实用新型提供以下技术方案：一种上下料机构，应用于芯片清洗机上，该芯片清洗机具有机架及设置在机架上的清洗装置，该上下料机构包括：

移栽机构，设置于所述清洗装置上，用于为所述清洗装置进行自动上下料；

入料模组，设置于所述机架上，用于存放芯片；以及

取料机构，与所述移栽机构相互垂直设置，用于抓取所述入料模组上的芯片并进行定位和放置清洁后的芯片；所述取料机构包括第一直线模组、第二直线模组和二次定位机构；所述第一直线模组与所述第二直线模组相互垂直设置，所述第一直线模组可驱动第二直线模组来回往复移动；所述二次定位机构固定设置于所述第二直线模组上，所述第二直线模组可驱动所述二次定位机构沿竖直方向往复移动；

其中，工作时所述二次定位机构抓取所述入料模组上存放的芯片并进行定位，所述移栽机构抓取定位后芯片后运输至所述清洗装置中进行清洁。

进一步的，所述移栽机构包括支架、第三直线模组、吸盘机构、第一动力源和第二动力源；所述第三直线模组安装在支架；所述第三直线模组设有两个，其中一个固定连接第一动力源，另一个固定连接第二动力源；所述吸盘机构设置于所述第一动力源和第二动力源的输出端；所述第一动力源可驱动吸盘机构进行升降移动，所述第二动力源可驱动吸盘机构进行升降移动。

进一步的，所述第一动力源和第二动力源均为气缸，所述气缸通过安装板固定于所述第三直线模组上，对应于所述气缸的伸缩杆的初始位置和伸出位置都设置有位置传感器。

进一步的，所述二次定位机构包括底板；

第四直线模组，设置于所述底板上，用于提供动力；

夹紧部件，设置于所述第四直线模组上，所述第四直线模组可驱动所述夹紧部件来回往复移动；

第一挡条，固定设置于所述底板上，用于对芯片移动做导向；

第二挡条部件，可滑动的设置于所述底板上，用于对芯片移动做导向；及