[实用新型]芯片清洗机及其上下料机构

权利要求书

1.一种上下料机构，应用于芯片清洗机上，该芯片清洗机具有机架（1）及设置在机架（1）上的清洗装置（2），其特征在于；该上下料机构包括：

移栽机构（3），设置于所述清洗装置（2）上，用于为所述清洗装置（2）进行自动上下料；

入料模组（4），设置于所述机架（1）上，用于存放芯片；以及

取料机构（5），与所述移栽机构（3）相互垂直设置，用于抓取所述入料模组（4）上的芯片并进行定位和放置清洁后的芯片；所述取料机构（5）包括第一直线模组（51）、第二直线模组（52）和二次定位机构（53）；所述第一直线模组（51）与所述第二直线模组（52）相互垂直设置，所述第一直线模组（51）可驱动第二直线模组（52）来回往复移动；所述二次定位机构（53）固定设置于所述第二直线模组（52）上，所述第二直线模组（52）可驱动所述二次定位机构（53）沿竖直方向往复移动；

其中，工作时所述二次定位机构（53）抓取所述入料模组（4）上存放的芯片并进行定位，所述移栽机构（3）抓取定位后芯片后运输至所述清洗装置（2）中进行清洁。

2.根据权利要求1所述的上下料机构，其特征在于，所述移栽机构（3）包括支架（31）、第三直线模组（32）、吸盘机构（33）、第一动力源（34）和第二动力源（35）；所述第三直线模组（32）安装在支架（31）；所述第三直线模组（32）设有两个，其中一个固定连接第一动力源（34），另一个固定连接第二动力源（35）；所述吸盘机构（33）设置于所述第一动力源（34）和第二动力源（35）的输出端；所述第一动力源（34）可驱动吸盘机构（33）进行升降移动，所述第二动力源（35）可驱动吸盘机构（33）进行升降移动。

3.根据权利要求2所述的上下料机构，其特征在于，所述第一动力源（34）和第二动力源（35）均为气缸，所述气缸通过安装板固定于所述第三直线模组（32）上，对应于所述气缸的伸缩杆的初始位置和伸出位置都设置有位置传感器（36）。

4.根据权利要求1所述的上下料机构，其特征在于，所述二次定位机构（53）包括底板（531）；

第四直线模组（532），设置于所述底板上，用于提供动力；

夹紧部件（533），设置于所述第四直线模组上，所述第四直线模组可驱动所述夹紧部件来回往复移动；

第一挡条（534），固定设置于所述底板上，用于对芯片移动做导向；

第二挡条部件（535），可滑动的设置于所述底板上，用于对芯片移动做导向；及

第一传感器（536），设置于所述第一挡条与第二挡条部件之间，用于对芯片进行定位。

5.根据权利要求4所述的上下料机构，其特征在于，所述二次定位机构（53）还包括读码器（537）和光传感器（538），所述读码器（537）设置于所述底板（531）上，用于识别芯片信息；所述光传感器（538）设置于所述底板（531）上，用于检测入料模组（4）的芯片。

6.根据权利要求1所述的上下料机构，其特征在于，所述入料模组（4）包括：储料底板（41）、限位块（42）和储料架（43），储料架（43）设置在储料底板（41）上方，限位块（42）设置在储料底板（41）上方，用于对储料架（43）进行限位；所述储料架（43）的内测壁设有用于卡设芯片的凹槽（431）。

7.一种芯片清洗机，其特征在于，包括：

机架（1）；

清洗装置（2），设置于所述机架（1）上，所述清洗装置（2）用于承载并清洁芯片；

如权利要求1至5任意一项所述的上下料机构；

干燥装置（6），设置于所述机架（1）上，且通过管道与所述清洗装置（2），用于对清洁后的芯片进行干燥；及

供药水装置（7），设置于所述机架（1）上，用于为所述清洗装置进行提供药水。