[实用新型]一种热处理退火炉的密封结构有效
申请号: | 202020021078.2 | 申请日: | 2020-01-07 |
公开(公告)号: | CN210866132U | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 颜志铨 | 申请(专利权)人: | 苏州长吉机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F16J15/02;F27D1/00 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 贾传美 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 热处理 退火炉 密封 结构 | ||
1.一种热处理退火炉的密封结构,包括退火炉主体(1),其特征在于:所述退火炉主体(1)的一侧设置有安装架(2),且安装架(2)的一侧设置有第一密封板(4),所述安装架(2)一侧的内部设置有滑槽(3),所述第一密封板(4)的一侧设置有与滑槽(3)相互配合的滑块(10),所述安装架(2)的底部安装有双轴电机(7),且双轴电机(7)的输出端固定有收卷轮(11),所述第一密封板(4)一侧的中间位置处通过固定架安装有伺服电机(6),且第一密封板(4)的内部设置有第二密封板(5),所述伺服电机(6)的输出端固定有贯穿至第二密封板(5)内部的螺柱(18),且第二密封板(5)的内部设置有空腔(13),且空腔(13)内部的底端固定有复位弹簧(17),所述复位弹簧(17)的末端固定有滑柱(14),且滑柱(14)的一侧设置有卡板(9)。
2.根据权利要求1所述的一种热处理退火炉的密封结构,其特征在于:所述收卷轮(11)的数目为两组,两组所述收卷轮(11)的外侧结缠绕有拉绳(12),且拉绳(12)的末端与第一密封板(4)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种热处理退火炉的密封结构,其特征在于:所述卡板(9)的数目为四组,四组所述卡板(9)首端的横截面为半圆形,且卡板(9)的外侧均匀粘连有羊毛毡。
4.根据权利要求1所述的一种热处理退火炉的密封结构,其特征在于:所述第二密封板(5)内部的中间位置处设置有通孔(8),且通孔(8)通过螺纹与螺柱(18)转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种热处理退火炉的密封结构,其特征在于:所述空腔(13)的两侧皆设置有限位槽(15),所述滑柱(14)的两侧皆固定有与限位槽(15)相互配合的限位块(16)。
6.根据权利要求1所述的一种热处理退火炉的密封结构,其特征在于:所述退火炉主体(1)内部的底端均匀转动连接有辊轮。
7.根据权利要求1所述的一种热处理退火炉的密封结构,其特征在于:所述滑槽(3)内部的底端设置有减震垫,所述退火炉主体(1)与第一密封板(4)紧密贴合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造