[实用新型]用于半导体加工设备的悬臂推拉舟系统及半导体加工设备

权利要求书

1.一种用于半导体加工设备的悬臂推拉舟系统，其特征在于，包括：支撑梁、滑动组件、承载件和炉门；其中，

所述滑动组件能够沿所述支撑梁移动；

所述承载件平行于所述支撑梁，用于承载待加工工件；

所述炉门的一侧连接于所述滑动组件，另一侧连接于所述承载件；

所述滑动组件用于沿所述支撑梁移动并带动所述炉门和所述承载件移动，待所述承载件进入所述半导体加工设备的反应腔室，所述炉门能够密封所述反应腔室的入口。

2.根据权利要求1所述的悬臂推拉舟系统，其特征在于，还包括：固定件、支撑法兰、固定法兰和弹性部件；其中，

所述固定件的一端与所述滑动组件相连，另一端穿过所述炉门与所述承载件相连；

所述炉门朝向所述滑动组件的表面上设有支撑法兰；

所述固定法兰套设于所述固定件上靠近所述滑动组件的一端；

所述弹性部件套设于所述固定件上，且两端分别与所述支撑法兰和所述固定法兰连接。

3.根据权利要求2所述的悬臂推拉舟系统，其特征在于，所述弹性部件为波纹管，所述波纹管的两端分别与所述支撑法兰和所述固定法兰密封连接。

4.根据权利要求2所述的悬臂推拉舟系统，其特征在于，还包括具有多个弯折面的弹性弯折板；其中，

所述弹性弯折板的相邻两个弯折面互相垂直，且第一个弯折面与所述炉门朝向所述滑动组件的表面连接，最后一个弯折面与所述固定件连接。

5.根据权利要求2所述的悬臂推拉舟系统，其特征在于，所述固定件靠近所述滑动组件的一端设有封堵板。

6.根据权利要求2所述的悬臂推拉舟系统，其特征在于，所述炉门背离所述滑动组件的表面设有密封板。

7.根据权利要求6所述的悬臂推拉舟系统，其特征在于，所述密封板的周向边缘设有密封圈。

8.根据权利要求1所述的悬臂推拉舟系统，其特征在于，所述支撑梁上设有滑轨和能够沿所述滑轨滑动的滑块，所述滑动组件固定连接于所述滑块。

9.根据权利要求8所述的悬臂推拉舟系统，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述滑块沿所述滑轨滑动。

10.一种半导体加工设备，包括反应腔室和如权利要求1-9任一项所述的悬臂推拉舟系统，所述悬臂推拉舟系统用于将待加工件传输到所述反应腔室内并密封所述反应腔室的入口。