[实用新型]一种多级真空的镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种多级真空的镀膜设备，包括机械泵，所述机械泵顶部固定连接有第一传输管，所述第一传输管顶部末端固定连接有罗兹泵，所述罗兹泵顶部固定连接有第一输入管，所述第一输入管顶部连接有初级真空阀，所述初级真空阀一侧连接有第二传输管，所述第二传输管底部设置有高温油DP泵，所述高温油DP泵底部固定连接有加热隔间，所述加热隔间一侧内壁固定连接有连接板，本实用新型中，通过设置机械泵、罗兹泵、初级真空阀、及真空主阀等装置，在启动运行后，系统自动关闭初级真空阀，机械泵和罗咨泵开始运行产生初级真空，初级真空达到预设值，初级真空阀开启，向真空腔提供初级真空，该装置结构简单，方便实用。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种多级真空的镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

真空镀膜的品质与真空度的高低有很大关系，在镀膜过程需要不同等级的真空度，但真空度越高，抽真空的时间也会增加，因此合理的设计真空顺序和工艺，即可以满足镀膜品质，又能提高镀膜效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种多级真空的镀膜设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种多级真空的镀膜设备，包括机械泵，所述机械泵顶部固定连接有第一传输管，所述第一传输管顶部末端固定连接有罗兹泵，所述罗兹泵顶部固定连接有第一输入管，所述第一输入管顶部连接有初级真空阀，所述初级真空阀一侧连接有第二传输管，所述第二传输管底部设置有高温油DP泵，所述高温油DP泵底部固定连接有加热隔间，所述加热隔间一侧内壁固定连接有连接板，所述连接板一侧外壁固定连接有电阻丝，所述高温油DP泵顶部固定连接有第三输入管，所述第三输入管顶部末端与第二传输管相互贯通连接，所述高温油DP泵一侧固定连接有第四输入管，所述第四输入管顶部末端固定连接有预设值DP泵阀，所述预设值DP泵阀顶部末端固定连接有第二输入管，所述第二输入管与第二传输管相互贯通连接，所述第二传输管顶部固定连接有真空主阀，所述高温油DP泵一侧设置有真空腔，所述第二传输管与真空腔相互贯通连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述机械泵与罗兹泵之间通过第一传输管相连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第二传输管与第三输入管及第二输入管互相贯通。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述高温油DP泵顶部内侧及一侧内部分贝与第三输入管及第四输入管相对应位置均开设有连接孔。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述加热隔间与高温油DP泵之间通过焊接相固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述连接板通过固定螺钉与加热隔间相固定连接，且连接板的数量为两组，两组连接板之间关于加热隔间的中心轴线相对称。

本实用新型具有如下有益效果：