[实用新型]一种多级真空的镀膜设备

权利要求书

1.一种多级真空的镀膜设备，包括机械泵(1)，其特征在于：所述机械泵(1)顶部固定连接有第一传输管(2)，所述第一传输管(2)顶部末端固定连接有罗兹泵(3)，所述罗兹泵(3)顶部固定连接有第一输入管(4)，所述第一输入管(4)顶部连接有初级真空阀(5)，所述初级真空阀(5)一侧连接有第二传输管(7)，所述第二传输管(7)底部设置有高温油DP泵(8)，所述高温油DP泵(8)底部固定连接有加热隔间(13)，所述加热隔间(13)一侧内壁固定连接有连接板(11)，所述连接板(11)一侧外壁固定连接有电阻丝(14)，所述高温油DP泵(8)顶部固定连接有第三输入管(10)，所述第三输入管(10)顶部末端与第二传输管(7)相互贯通连接，所述高温油DP泵(8)一侧固定连接有第四输入管(15)，所述第四输入管(15)顶部末端固定连接有预设值DP泵阀(16)，所述预设值DP泵阀(16)顶部末端固定连接有第二输入管(6)，所述第二输入管(6)与第二传输管(7)相互贯通连接，所述第二传输管(7)顶部固定连接有真空主阀(9)，所述高温油DP泵(8)一侧设置有真空腔(12)，所述第二传输管(7)与真空腔(12)相互贯通连接。

2.根据权利要求1所述的一种多级真空的镀膜设备，其特征在于：所述机械泵(1)与罗兹泵(3)之间通过第一传输管(2)相连接。

3.根据权利要求1所述的一种多级真空的镀膜设备，其特征在于：所述第二传输管(7)与第三输入管(10)及第二输入管(6)互相贯通。

4.根据权利要求1所述的一种多级真空的镀膜设备，其特征在于：所述高温油DP泵(8)顶部内侧及一侧内部分贝与第三输入管(10)及第四输入管(15)相对应位置均开设有连接孔。

5.根据权利要求1所述的一种多级真空的镀膜设备，其特征在于：所述加热隔间(13)与高温油DP泵(8)之间通过焊接相固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种多级真空的镀膜设备，其特征在于：所述连接板(11)通过固定螺钉与加热隔间(13)相固定连接，且连接板(11)的数量为两组，两组连接板(11)之间关于加热隔间(13)的中心轴线相对称。