[发明专利]碳化硅蚀刻工装

权利要求书

1.一种碳化硅蚀刻工装，其特征在于，包括支撑杆(11)及多个托架(12)；

所述支撑杆(11)竖直设置，且所述支撑杆(11)的侧面开设有多个第一连接缺口(111)；

多个所述托架(12)均呈水平设置，且均用于承接碳化硅衬底(900)，多个所述托架(12)一一可拆卸地卡持于多个所述第一连接缺口(111)内。

2.根据权利要求1所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，所述托架(12)的顶部和/或底部开设有第二连接缺口(127)，所述托架(12)卡持于所述第一连接缺口(111)内时，所述第一连接缺口(111)的部分内壁卡持于所述第二连接缺口(127)内。

3.根据权利要求1所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，多个所述第一连接缺口(111)分别开设于所述支撑杆(11)上相背的两个侧面上。

4.根据权利要求1所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，所述支撑杆(11)的数量为两根，两根所述支撑杆(11)间隔排列设置，且两根所述支撑杆(11)上均开设有所述第一连接缺口(111)，所述托架(12)同时可拆卸地卡持于两根所述支撑杆(11)上所述第一连接缺口(111)内。

5.根据权利要求1所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，所述托架(12)包括相互连接的连接管(120)和承载杆(126)，所述承载杆(126)用于承载所述碳化硅衬底(900)，所述连接管(120)为矩管，且所述第一连接缺口(111)与所述连接管(120)匹配。

6.根据权利要求5所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，所述连接管(120)包括依次连接的第一连接段(121)、第二连接段(122)及第三连接段(123)，所述第一连接段(121)、所述第二连接段(122)及所述第三连接段(123)共同呈凵字型设置，所述第二连接段(122)用于可拆卸地卡持于所述第一连接缺口(111)内；所述承载杆(126)的两端分别连接于所述第一连接段(121)的底部和所述第三连接段(123)的底部。

7.根据权利要求6所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，所述碳化硅蚀刻工装(10)还包括具有开口的固定环(13)，所述固定环(13)连接于所述第一连接段(121)和所述第三连接段(123)，并具有弹性；

所述固定环(13)的末端以及所述固定环(13)的中部均用于与所述碳化硅衬底(900)的边缘抵持，以共同固定所述碳化硅衬底(900)于所述托架(12)上。

8.根据权利要求7所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，所述第一连接段(121)和所述第二连接段(122)上相对应的两个侧面上均开设有连接孔(125)，所述连接孔(125)为沿水平方向延伸的条孔；

所述固定环(13)上部分位置可活动地伸入所述连接孔(125)内，以与所述第一连接段(121)和所述第三连接段(123)连接。

9.根据权利要求8所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，所述固定环(13)的两端上均设有固定柱(131)，所述固定柱(131)竖直设置，且所述固定柱(131)的侧面开设有固定缺口，所述固定缺口的底壁用于与所述碳化硅衬底(900)的边缘抵持。

10.根据权利要求9所述的碳化硅蚀刻工装，其特征在于，所述固定环(13)的中部还设置有所述固定柱(131)，以通过三个所述固定柱(131)共同固定所述碳化硅衬底(900)。