[发明专利]可控微透镜阵列清洁装置

权利要求书

1.一种可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，包括：

环形固定件，环绕所述可控微透镜阵列设置；

气体喷出模块，与所述环形固定件内部侧壁连接，所述气体喷出模块设置于所述可控微透镜阵列上方；

气体排出模块，与所述环形固定件内部侧壁连接，所述气体排出模块设置于所述可控微透镜阵列上方，所述气体排出模块设置在所述气体喷出模块的对侧。

2.根据权利要求1所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，所述环形固定件的顶部开口设置有顶部保护玻璃，所述环形固定件的底部开口设置有底部保护玻璃。

3.根据权利要求2所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，还包括：

第一流量监测模块，设置在所述环形固定件上，用于检测所述气体喷出模块喷出的气体的第一流量；

第二流量监测模块，设置在所述环形固定件上，用于检测所述气体排出模块排出的气体的第二流量。

4.根据权利要求3所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，还包括：

第一调节模块，连接在所述气体喷出模块上，所述第一调节模块用于调节所述气体喷出模块的第一流量；

第二调节模块，连接在所述气体排出模块上，所述第二调节模块用于调节所述气体排出模块的第二流量；

平衡模块，所述平衡模块与所述第一流量监测模块和所述第二流量监测模块通信连接，所述平衡模块用于依据所述第一流量和第二流量的差值，控制所述第一调节模块对所述第一流量进行调节，或者控制所述第二调节模块对所述第二流量进行调节。

5.根据权利要求3所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，还包括：

保护模块，与所述第一流量监测模块和第二流量监测模块通信连接，所述保护模块用于当所述第一流量和所述第二流量的差值超出预定阈值时，关闭所述气体喷出模块和气体排出模块。

6.根据权利要求3所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，还包括：

联动模块，与激光发生器、气体喷出模块和气体排出模块通信连接，所述联动模块用于在激光发生器开启前关闭所述气体喷出模块和所述气体排出模块，在激光发生器关闭后开启所述气体喷出模块和所述气体排出模块。

7.根据权利要求1所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，还包括：

气压控制模块，与激光发生器通信连接，所述气压控制模块用于获取激光发生器的工作状态，并在激光发生器处于预备状态时，控制所述气体喷出模块的进气压强为1.6MPa，在激光发生器处于待机状态或者维护状态时，控制所述气体喷出模块的进气压强为0.6MPa。

8.根据权利要求1所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，所述气体喷出模块的出气口为条形的出气口；所述气体排出模块的进气口为条形的进气口。

9.根据权利要求8所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，所述气体喷出模块的出气口与所述气体排出模块的进气口平行设置在同一高度上。

10.根据权利要求9所述可控微透镜阵列清洁装置，其特征在于，所述气体喷出模块的出气口和所述气体排出模块的进气口的公共平面平行于所述可控微透镜阵列。