[发明专利]一种发光二极管的外延片生长装置

说明书

本发明涉及二极管的技术领域，特别是涉及一种发光二极管的外延片生长装置，其增加装置内部废气的处理效果，增加装置内部清理的效果，提高实用性；包括底板、反应室、进气管、出气管、风机、第一阀门、第二阀门和真空机构，反应室固定安装在底板上，反应室内部设置有腔室，进气管固定安装在反应室上并与腔室连通，新鲜空气经进气管输送至底板腔室内，出气管固定安装在反应室上并与腔室连通，出气管的输出端与风机的输入端连接，风机固定安装在底板上，风机通过出气管将底板腔室内的废气抽出，风机的输出端与废气回收机构连通，第一阀门固定安装在进气管上，第二阀门固定安装在出气管上，真空装置固定安装在底板上并与反应室连通。

技术领域

本发明涉及二极管的技术领域，特别是涉及一种发光二极管的外延片生长装置。

背景技术

二极管是用半导体材料(硅、硒、锗等)制成的一种电子器件。它具有单向导电性能，即给二极管阳极和阴极加上正向电压时，二极管导通，在制作LED时，需要先制作出外延片，然后将外延片制作成LED芯片。外延片的制作通常在MOCVD设备中进行。外延片的制作需要负压环境，目前通常是采用真空泵形成负压环境，现有的发光二极管的外延片生长装置外延片制作完成后，需对装置内部进行清理，对内部进行换气，产生的废气未进行收集，同时换气效率较低。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种增加装置内部废气的处理效果，增加装置内部清理的效果，提高实用性的一种发光二极管的外延片生长装置。

本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，包括底板、反应室、进气管、出气管、风机、第一阀门、第二阀门和真空机构，所述反应室固定安装在底板上，所述反应室内部设置有腔室，所述进气管固定安装在反应室上并与腔室连通，新鲜空气经进气管输送至底板腔室内，所述出气管固定安装在反应室上并与腔室连通，所述出气管的输出端与风机的输入端连接，所述风机固定安装在底板上，所述风机通过出气管将底板腔室内的废气抽出，所述风机的输出端与废气回收机构连通，所述第一阀门固定安装在进气管上，所述第二阀门固定安装在出气管上，所述真空装置固定安装在底板上并与反应室连通，所述真空装置用于反应室腔室内抽真空。

本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，真空装置真空泵和真空管，所述真空泵固定安装在底板上，所述真空泵的输入端与真空管的输出端连接，所述真空管的输入端与反应室的输出端连接。

本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括第三阀门，所述第三阀门固定安装在真空管上。

本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括第一压力表和第二压力表，所述第一压力表固定安装在真空管上，所述第二压力表固定安装在进气管上。

本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括铰链和门板，所述铰链安装在反应室上，所述门板通过铰链与反应室转动连接。

本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括把手和锁扣，所述把手安装在门板上，所述锁扣安装在把手上。

本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括若干组螺栓，若干组所述螺栓安装在反应室上并与底板连接。

本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，所述第一阀门、第二阀门和第三阀门均采用单向阀。

与现有技术相比本发明的有益效果为：关闭第一阀门和第二阀门，真空机构对反应室腔室内部抽真空，发光二极管的外延片在反应室腔室内制作，制作完成后，关闭真空机构，打开第一阀门和第二阀门，新鲜空气经进气管进入反应室腔室内部，风机将反应室腔室内部的废气经出气管输送至废气回收机构，增加装置内部废气的处理效果，增加装置内部清理的效果，提高实用性。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的前视结构示意图；

图3是本发明的左视结构示意图；