[发明专利]一种发光二极管的外延片生长装置

权利要求书

1.一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，包括底板（1）、反应室（2）、进气管（3）、出气管（4）、风机（5）、第一阀门（6）、第二阀门（7）和真空机构，所述反应室（2）固定安装在底板（1）上，所述反应室（2）内部设置有腔室，所述进气管（3）固定安装在反应室（2）上并与腔室连通，新鲜空气经进气管（3）输送至底板（1）腔室内，所述出气管（4）固定安装在反应室（2）上并与腔室连通，所述出气管（4）的输出端与风机（5）的输入端连接，所述风机（5）固定安装在底板（1）上，所述风机（5）通过出气管（4）将底板（1）腔室内的废气抽出，所述风机（5）的输出端与废气回收机构连通，所述第一阀门（6）固定安装在进气管（3）上，所述第二阀门（7）固定安装在出气管（4）上，所述真空装置固定安装在底板（1）上并与反应室（2）连通，所述真空装置用于反应室（2）腔室内抽真空。

2.如权利要求1所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，真空装置真空泵（8）和真空管（9），所述真空泵（8）固定安装在底板（1）上，所述真空泵（8）的输入端与真空管（9）的输出端连接，所述真空管（9）的输入端与反应室（2）的输出端连接。

3.如权利要求1所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括第三阀门（10），所述第三阀门（10）固定安装在真空管（9）上。

4.如权利要求2所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括第一压力表（11）和第二压力表（12），所述第一压力表（11）固定安装在真空管（9）上，所述第二压力表（12）固定安装在进气管（3）上。

5.如权利要求1所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括铰链（13）和门板（14），所述铰链（13）安装在反应室（2）上，所述门板（14）通过铰链（13）与反应室（2）转动连接。

6.如权利要求5所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括把手（15）和锁扣（16），所述把手（15）安装在门板（14）上，所述锁扣（16）安装在把手（15）上。

7.如权利要求1所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括若干组螺栓（17），若干组所述螺栓（17）安装在反应室（2）上并与底板（1）连接。

8.如权利要求3所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，所述第一阀门（6）、第二阀门（7）和第三阀门（10）均采用单向阀。