[发明专利]一种直拉单晶中掉棒的保护设备在审
申请号: | 202011638121.0 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112853484A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 马腾飞;汪奇;张银 | 申请(专利权)人: | 四川晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00;C30B15/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘晓菲 |
地址: | 614802 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉单晶中掉棒 保护 设备 | ||
本发明公开一种直拉单晶中掉棒的保护设备,包括导轨、抱爪和重量检测器,导轨用于设置在单晶炉副室内壁上,抱爪与导轨滑动连接,抱爪用于夹紧晶棒,重量检测器用于检测晶棒重量。本申请公开的直拉单晶中掉棒的保护设备,正常状态下,抱爪隐藏在副室阀仓内,不阻挡正常的晶棒拉制,重量检测器则实时检测拉出的晶棒的重量,当重量检测器检测到晶棒的重量变化值与预设值误差大于10kg时,抱爪迅速打开,并夹住掉落的晶棒,抱爪夹住掉落的晶棒后上升,沿着导轨上升至指定位置,使掉落的晶棒脱离坩埚中硅溶液液面,停炉处理,避免掉落的晶棒造成砸裂石英坩埚导致漏硅,预防二次事故的发生。
技术领域
本发明涉及光伏制造技术领域,特别涉及一种直拉单晶中掉棒的保护设备。
背景技术
在直拉法单晶中,随着热场不断升级,籽晶投料量越来越大,籽晶承重会逐步增加,对籽晶承重提出了更高要求。
现有单晶炉,如果在拉晶过程中,拉出的晶棒会存在从籽晶处断裂从而导致晶棒掉落的事故发生,如晶棒掉落发生在炉内,掉入盛装有硅熔液的坩埚中,会造成砸裂石英坩埚,硅液迅速漏入炉内,由于熔硅的温度在1450度,会烫穿通有冷却水的不锈钢炉底,导致水流出,在炉内高温下,水瞬间气化,分解成氧气与氢气,炉内空间密闭,如不及时排出,会造成爆炸事故,造成人身安全,财产损失。
因此,如何避免拉晶过程中晶棒掉落的情况,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种直拉单晶中掉棒的保护设备,通过检测拉出的晶棒重量与预设的晶棒重量对比,启动夹紧装置,夹住掉落的晶棒,避免晶棒掉落。
为解决上述技术问题,本发明提供一种直拉单晶中掉棒的保护设备,包括导轨、抱爪和重量检测器,所述导轨用于设置在单晶炉副室内壁上,所述抱爪与所述导轨滑动连接,所述抱爪用于夹紧晶棒,所述重量检测器用于检测晶棒重量。
优选地,所述导轨为不锈钢导轨。
优选地,所述导轨的有效行程为500mm~600mm。
优选地,所述抱爪为不锈钢夹爪。
优选地,所述抱爪设有耐高温型内垫。
优选地,所述内垫为四氟衬环。
优选地,还包括与所述重量检测器连接的报警提示装置。
优选地、所述报警提示装置为指示灯和蜂鸣器。
本发明所提供的直拉单晶中掉棒的保护设备,包括导轨、抱爪和重量检测器,导轨用于设置在单晶炉副室内壁上,抱爪与导轨滑动连接,抱爪用于夹紧晶棒,重量检测器用于检测晶棒重量。本申请公开的直拉单晶中掉棒的保护设备,正常状态下,抱爪隐藏在副室阀仓内,不阻挡正常的晶棒拉制,重量检测器则实时检测拉出的晶棒的重量,当重量检测器检测到晶棒的重量变化值与预设值误差大于10kg时,抱爪迅速打开,并夹住掉落的晶棒,抱爪夹住掉落的晶棒后上升,沿着导轨上升至指定位置,使掉落的晶棒脱离坩埚中硅溶液液面,停炉处理,避免掉落的晶棒造成砸裂石英坩埚导致漏硅,预防二次事故的发生。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明所提供的一种具体实施方式的整体结构示意图。
其中,图1中:
导轨—1,抱爪—2,重量检测器—3。
具体实施方式
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川晶科能源有限公司,未经四川晶科能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011638121.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:电池终检设备
- 下一篇:一种医用导管涂层涂覆设备