[发明专利]一种直拉单晶中掉棒的保护设备在审

专利信息
申请号: 202011638121.0 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112853484A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 马腾飞;汪奇;张银 申请(专利权)人: 四川晶科能源有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B15/00;C30B15/20
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 刘晓菲
地址: 614802 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 直拉单晶中掉棒 保护 设备
【说明书】:

发明公开一种直拉单晶中掉棒的保护设备,包括导轨、抱爪和重量检测器,导轨用于设置在单晶炉副室内壁上,抱爪与导轨滑动连接,抱爪用于夹紧晶棒,重量检测器用于检测晶棒重量。本申请公开的直拉单晶中掉棒的保护设备,正常状态下,抱爪隐藏在副室阀仓内,不阻挡正常的晶棒拉制,重量检测器则实时检测拉出的晶棒的重量,当重量检测器检测到晶棒的重量变化值与预设值误差大于10kg时,抱爪迅速打开,并夹住掉落的晶棒,抱爪夹住掉落的晶棒后上升,沿着导轨上升至指定位置,使掉落的晶棒脱离坩埚中硅溶液液面,停炉处理,避免掉落的晶棒造成砸裂石英坩埚导致漏硅,预防二次事故的发生。

技术领域

本发明涉及光伏制造技术领域,特别涉及一种直拉单晶中掉棒的保护设备。

背景技术

在直拉法单晶中,随着热场不断升级,籽晶投料量越来越大,籽晶承重会逐步增加,对籽晶承重提出了更高要求。

现有单晶炉,如果在拉晶过程中,拉出的晶棒会存在从籽晶处断裂从而导致晶棒掉落的事故发生,如晶棒掉落发生在炉内,掉入盛装有硅熔液的坩埚中,会造成砸裂石英坩埚,硅液迅速漏入炉内,由于熔硅的温度在1450度,会烫穿通有冷却水的不锈钢炉底,导致水流出,在炉内高温下,水瞬间气化,分解成氧气与氢气,炉内空间密闭,如不及时排出,会造成爆炸事故,造成人身安全,财产损失。

因此,如何避免拉晶过程中晶棒掉落的情况,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种直拉单晶中掉棒的保护设备,通过检测拉出的晶棒重量与预设的晶棒重量对比,启动夹紧装置,夹住掉落的晶棒,避免晶棒掉落。

为解决上述技术问题,本发明提供一种直拉单晶中掉棒的保护设备,包括导轨、抱爪和重量检测器,所述导轨用于设置在单晶炉副室内壁上,所述抱爪与所述导轨滑动连接,所述抱爪用于夹紧晶棒,所述重量检测器用于检测晶棒重量。

优选地,所述导轨为不锈钢导轨。

优选地,所述导轨的有效行程为500mm~600mm。

优选地,所述抱爪为不锈钢夹爪。

优选地,所述抱爪设有耐高温型内垫。

优选地,所述内垫为四氟衬环。

优选地,还包括与所述重量检测器连接的报警提示装置。

优选地、所述报警提示装置为指示灯和蜂鸣器。

本发明所提供的直拉单晶中掉棒的保护设备,包括导轨、抱爪和重量检测器,导轨用于设置在单晶炉副室内壁上,抱爪与导轨滑动连接,抱爪用于夹紧晶棒,重量检测器用于检测晶棒重量。本申请公开的直拉单晶中掉棒的保护设备,正常状态下,抱爪隐藏在副室阀仓内,不阻挡正常的晶棒拉制,重量检测器则实时检测拉出的晶棒的重量,当重量检测器检测到晶棒的重量变化值与预设值误差大于10kg时,抱爪迅速打开,并夹住掉落的晶棒,抱爪夹住掉落的晶棒后上升,沿着导轨上升至指定位置,使掉落的晶棒脱离坩埚中硅溶液液面,停炉处理,避免掉落的晶棒造成砸裂石英坩埚导致漏硅,预防二次事故的发生。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明所提供的一种具体实施方式的整体结构示意图。

其中,图1中:

导轨—1,抱爪—2,重量检测器—3。

具体实施方式

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