[发明专利]一种直拉单晶中掉棒的保护设备在审
申请号: | 202011638121.0 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112853484A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 马腾飞;汪奇;张银 | 申请(专利权)人: | 四川晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00;C30B15/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘晓菲 |
地址: | 614802 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉单晶中掉棒 保护 设备 | ||
1.一种直拉单晶中掉棒的保护设备,其特征在于,包括导轨(1)、抱爪(2)和重量检测器(3),所述导轨(1)用于设置在单晶炉副室内壁上,所述抱爪(2)与所述导轨(1)滑动连接,所述抱爪(2)用于夹紧晶棒,所述重量检测器(3)用于检测晶棒重量。
2.根据权利要求1所述的直拉单晶中掉棒的保护设备,其特征在于,所述导轨(1)为不锈钢导轨。
3.根据权利要求2所述的直拉单晶中掉棒的保护设备,其特征在于,所述导轨(1)的有效行程为500mm~600mm。
4.根据权利要求1所述的直拉单晶中掉棒的保护设备,其特征在于,所述抱爪(2)为不锈钢夹爪。
5.根据权利要求4所述的直拉单晶中掉棒的保护设备,其特征在于,所述抱爪(2)设有耐高温型内垫。
6.根据权利要求5所述的直拉单晶中掉棒的保护设备,其特征在于,所述内垫为四氟衬环。
7.根据权利要求1至6任意一项所述的直拉单晶中掉棒的保护设备,其特征在于,还包括与所述重量检测器(3)连接的报警提示装置。
8.根据权利要求7所述的直拉单晶中掉棒的保护设备,其特征在于,所述报警提示装置为指示灯和蜂鸣器。
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