[发明专利]镜头畸变补偿方法、存储介质以及直写式光刻机

权利要求书

1.一种镜头畸变补偿方法，用于直写式光刻机，其特征在于，包括：

获取光刻版图的版图数据；

根据预设曝光步进宽度将所述版图数据划分为多个曝光数据组；

根据畸变趋势方程对每个所述曝光数据组进行补偿以获得补偿后的曝光数据，所述畸变趋势方程为所述曝光数据组中数据点的相对位置与所述直写式光刻机镜头的畸变误差的关系方程；

根据所述补偿后的曝光数据进行曝光处理。

2.根据权利要求1所述的镜头畸变补偿方法，其特征在于，根据畸变趋势方程对每个所述曝光数据组进行补偿，包括：

对于每个所述曝光数据组，确定所述曝光数据组的中心数据点；

获得所述曝光数据组中每个数据点与所述中心数据点的相对距离，以作为对应数据点的相对位置；

将每个数据点与所述中心数据点的相对距离代入所述畸变趋势方程以获得每个数据点的畸变误差；

将所述畸变误差补偿给所述曝光数据组中对应的曝光数据。

3.根据权利要求1或2所述的镜头畸变补偿方法，其特征在于，所述畸变趋势方程通过以下步骤获得并保存：

获得标准版图的理论间距值，其中，所述标准版图包括M*N的标记点阵列，所述理论间距值为所述标记点阵列中相邻列标记点之间的第一间距值，M为大于0的自然数，N为大于1的自然数，0理论间距值条带曝光宽度；

对所述标记点阵列进行曝光处理，获得曝光处理后的标记点阵列；

获得曝光处理后的标记点阵列中相邻列标记点之间的第二间距值；

获得间距差值阵列，其中，所述间距差值阵列包括i*j的间距差值，所述间距差值为第二间距值与对应的第一间距值的差值，0iM,0jN；

获得所述间距差值阵列中的K*j间距差值阵列，根据所述K*j间距差值阵列获得所述直写式光刻机镜头在步进方向上的畸变平均值，其中，0K≤i；

确定所述畸变平均值中的标准平均值，并获得每个所述畸变平均值与所述标准平均值的相对误差值；

确定所述相对误差值中的标准误差值，并根据所述相对误差值和所述标准误差值获得累积误差值，其中，所述标准平均值和所述标准误差值对应所述间距差值阵列中相同的间距差值点；

以所述标准平均值或所述标准误差值对应的间距差值点为原点，根据所述累积误差值获得畸变曲线；

根据所述畸变曲线获得所述畸变趋势方程。

4.根据权利要求3所述的镜头畸变补偿方法，其特征在于，根据所述K*j间距差值阵列获得所述直写式光刻机镜头在步进方向上的畸变平均值，包括：

获得所述K*j间距差值阵列中每列间距差值的平均值，以作为对应列的畸变平均值。

5.根据权利要求4所述的镜头畸变补偿方法，其特征在于，确定所述畸变平均值中的标准平均值，包括：

确定所述K*j间距差值阵列中相对中间列对应的畸变平均值为所述标准平均值。

6.根据权利要求3所述的镜头畸变补偿方法，其特征在于，所述标记点阵列中的标记点为十字形标记或者方形标记或者圆形标记。

7.根据权利要求1所述的镜头畸变补偿方法，其特征在于，所述曝光数据组中的曝光数据为矢量数据，在对所述曝光数据组进行补偿，按照所述预设曝光步进宽度以物理单元进行补偿。

8.根据权利要求7所述的镜头畸变补偿方法，其特征在于，所述曝光数据组中的曝光数据为灰度数据，在对所述曝光数据组进行补偿，按照所述预设曝光步进宽度以像素单位进行补偿。

9.一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被执行时实现权利要求1-8任一项所述的镜头畸变补偿方法。

10.一种直写式光刻机，其特征在于，包括：

运动平台，用于放置基底；

曝光光源，用于在曝光时对光刻版图进行照射；

数字微镜阵列，用于显示所述光刻版图并将照射所述光刻版图的光线进行反射；

物镜，用于将反射的光刻版图的光投影在所述基底上；

处理器，与所述运动平台和所述数字微镜阵列连接，用于执行权利要求1-8任一项所述的镜头畸变补偿方法。