[发明专利]一种应用于芯片封装测试的装置在审
| 申请号: | 202011635518.4 | 申请日: | 2020-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN112864065A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
| 发明(设计)人: | 陈建清 | 申请(专利权)人: | 南通平鼎海机电设备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司: | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人: | 陈思思 |
| 地址: | 226001 江苏省南通市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 应用于 芯片 封装 测试 装置 | ||
1.一种应用于芯片封装测试的装置,包括基板(1),其特征在于:所述基板(1)的顶部固定安装有气泵(2),所述基板(1)的顶部且位于气泵(2)的上方固定安装有工作台(3),所述工作台(3)的内壁底部固定安装有控制器(4),所述工作台(3)的顶部固定安装有芯片封装测试机主体(5),所述基板(1)的顶部且位于气泵(2)的左侧固定安装有第一传送机构(6),所述基板(1)的顶部且位于气泵(2)的右侧固定安装有第二传送机构(7),所述基板(1)的顶部且位于第二传送机构(7)的右侧固定安装有第三传送机构(8),所述基板(1)的顶部且位于芯片封装测试机主体(5)的上方固定安装有龙门架(9),所述龙门架(9)的内壁顶部固定安装有第一导轨(10),所述第一导轨(10)的外壁活动安装有第一滑块(11),所述第一滑块(11)的底部固定安装有第一安装架(12),所述第一安装架(12)的内壁顶部固定安装有第一伺服电机(13),所述第一导轨(10)的底部开设有齿槽(14),所述第一伺服电机(13)的输出轴上套接有与齿槽(14)相咬合的齿轮(15),所述第一安装架(12)的左侧和右侧均固定安装有第二伺服电机(16),所述第一安装架(12)的左侧和右侧且位于第二伺服电机(16)的下方均固定安装有第二导轨(17),所述第二导轨(17)的外壁活动安装有第二滑块(18),所述第二伺服电机(16)的输出轴上套接有贯穿并延伸至第二滑块(18)内部的丝杆(19),所述第二滑块(18)的左侧且位于第一安装架(12)的左侧固定安装有第二安装架(20),所述第二安装架(20)的底部固定安有第一气缸(21),所述第二滑块(18)的右侧且位于第一安装架(12)的右侧固定安装有第三安装架(22),所述第三安装架(22)的外壁固定安装有第三导轨(23),所述第三导轨(23)的外壁活动安装有活动安装有第三滑块(24),所述第三安装架(22)的左侧固定安装有延伸至第三滑块(24)外壁的第二气缸(25),所述第三滑块(24)的底部固定安装有第三气缸(26),所述第一气缸(21)和第三气缸(26)的底部均固定安装有真空吸盘(27)。
2.根据权利要求1所述的一种应用于芯片封装测试的装置,其特征在于:所述气泵(2)通过气管与第一气缸(21)、第二气缸(25)、第三气缸(26)和真空吸盘(27)的进气口和出气口固定连接,所述气管的内部活动安装有电磁阀。
3.根据权利要求2所述的一种应用于芯片封装测试的装置,其特征在于:所述第一传送机构(6)、第二传送机构(7)和第三传送机构(8)均包括支架、步进电机、传送辊和传送带,所述控制器(4)通过导线与电磁阀、步进电机、气泵(2)、芯片封装测试机主体(5)、第一伺服电机(13)和第二伺服电机(16)电连接。
4.根据权利要求1所述的一种应用于芯片封装测试的装置,其特征在于:所述第一导轨(10)、第二导轨(17)和第三导轨(23)的横截面均为T型,所述第一滑块(11)、第二滑块(18)和第三滑块(24)的内部分别开设有与第一导轨(10)、第二导轨(17)和第三导轨(23)对应的滑槽。
5.根据权利要求1所述的一种应用于芯片封装测试的装置,其特征在于:所述第一导轨(10)的安装方向与第二导轨(17)的安装方向相互垂直,所述第一导轨(10)的安装方向与第三导轨(23)的安装方向相互平行。
6.根据权利要求1所述的一种应用于芯片封装测试的装置,其特征在于:所述第二伺服电机(16)、第二滑块(18)和丝杆(19)的数量均为两个,两个所述第二伺服电机(16)在第一安装架(12)上呈左右对称分布。
7.根据权利要求1所述的一种应用于芯片封装测试的装置,其特征在于:所述丝杆(19)的外壁开设有外螺纹槽,所述第二滑块(18)的内壁开设有与外螺纹槽相咬合的内螺纹槽。
8.根据权利要求1所述的一种应用于芯片封装测试的装置,其特征在于:所述第二安装架(20)为L型不锈钢架,所述第三安装架(22)为Z型不锈钢架。
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