[发明专利]偏置保护环结构的方法、集成电路器件及其形成方法在审

专利信息
申请号: 202011635105.6 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN113053998A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 王奕翔;刘思麟;洪照俊;彭永州 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L27/092;H01L21/8238
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人: 章社杲;李伟
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 偏置 保护环 结构 方法 集成电路 器件 及其 形成
【权利要求书】:

1.一种偏置保护环结构的方法,所述方法包括:

将金属氧化物半导体(MOS)晶体管的栅极偏置至第一偏置电压电平;

将所述金属氧化物半导体晶体管的第一源极/漏极(S/D)区域和第二源极/漏极(S/D)区域偏置至电压域电压电平,所述第一源极/漏极区域和所述第二源极/漏极区域中的每一个都有第一掺杂类型;

将所述保护环结构的栅极偏置至第二偏置电压电平;以及

将所述保护环结构的第一重掺杂区和第二重掺杂区偏置至所述电压域电压电平,所述第一重掺杂区和所述第二重掺杂区域中的每一个都有不同于所述第一掺杂类型的第二掺杂类型,

其中,所述第一源极/漏极区域、所述第二源极/漏极区域、所述第一重掺杂区和所述第二重掺杂区域中的每一个都被定位在具有所述第二掺杂类型的衬底区域。

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一偏置电压电平和所述第二偏置电压电平为同一偏置电压电平。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,

所述第一掺杂类型为n型,

所述电压域电压电平为接地电压电平,

将所述金属氧化物半导体晶体管的所述栅极偏置至所述第一偏置电压电平包括使所述第一偏置电压电平高于所述接地电压电平,以及

将所述保护环结构的所述栅极偏置至所述第二偏置电压电平包括使所述第二偏置电压电平高于所述接地电压电平。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,

所述第一掺杂类型为p型,

所述电压域电压电平为电源电压电平,

将所述金属氧化物半导体晶体管的所述栅极偏置至所述第一偏置电压电平包括使所述第一偏置电压电低于所述电源电压电平,以及

将所述保护环结构的所述栅极偏置至所述第二偏置电压电平包括使所述第二偏置电压电平低于所述电源电压电平。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,

所述第一掺杂类型为n型,

所述电压域电压电平为接地电压电平,

将所述金属氧化物半导体晶体管的所述栅极偏置至所述第一偏置电压电平包括使所述第一偏置电压电低于所述接地电压电平,以及

将所述保护环结构的所述栅极偏置至所述第二偏置电压电平包括使所述第二偏置电压电平低于所述接地电压电平。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,

所述第一掺杂类型为p型,

所述电压域电压电平为电源电压电平,

将所述金属氧化物半导体晶体管的所述栅极偏置至所述第一偏置电压电平包括使所述第一偏置电压电高于所述电源电压电平,以及

将所述保护环结构的所述栅极偏置至所述第二偏置电压电平包括使所述第二偏置电压电平高于所述电源电压电平。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,

所述保护环结构的所述栅极为所述保护环结构的多个栅极中的第一栅极,以及

将所述保护环结构的所述栅极偏置至所述第二偏置电压电平包括将所述保护环结构的多个栅极偏置至所述第二偏置电压电平。

8.根据权利要求1所述的方法,其中将所述保护环结构的所述第一重掺杂区和所述第二重掺杂区偏置至所述电压域电压电平包括偏置围绕所述金属氧化物半导体晶体管的所述第一重掺杂区和所述第二重掺杂区中的至少一个。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司,未经台湾积体电路制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011635105.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top