[发明专利]一种光刻胶树脂及其制备方法

权利要求书

1.一种光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

预处理：将至少两种丙烯酸酯类单体与有机溶剂在氮气环境下进行均匀混合，得到混合液，其中，所述丙烯酸酯类单体中极性单体与非极性单体的质量比为(3-7)：(3-7)；

光刻胶树脂的合成：氮气环境下在所述混合液中加入引发剂并进行搅拌、升温反应，得到聚合物溶液；

光刻胶树脂的分离提纯：在所述聚合物溶液中加入沉淀剂并进行抽滤干燥，得到光刻胶树脂。

2.根据权利要求1所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述丙烯酸酯类单体中非极性单体的具体结构通式为：

其中，R_a为H或碳原子数为1-20的碳链；R_b为酸敏的四级碳或多环烷基化合物的官能团；

所述丙烯酸酯类单体中极性单体的具体结构通式为：

其中，R_c为H、或碳原子数为1-20的碳链；R_d为含具备强极性的酯键或羟基的多环化合物的官能团。

3.根据权利要求2所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，若所述R_b为酸敏的四级碳的官能团时，其碳原子数在3-30之间，其和酯键氧原子相连的碳原子的氢原子全部被其它基团取代，构成叔丁基酯、取代叔丁基酯、烷基取代的金刚烷酯、烷基取代的金刚烷衍生物酯、烷基取代的降冰片酯、烷基取代的降冰片衍生物酯、烷基取代的环状烷基酯、烷基取代的环状烷基衍生物酯中的一种或多种。

4.根据权利要求2所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，若所述R_b为多环烷基化合物的官能团时，其碳原子数在3-30之间，其和酯键氧原子相连的碳原子的氢原子不完全被其它基团取代，构成叔丁基酯、取代叔丁基酯、烷基取代的金刚烷酯、烷基取代的金刚烷衍生物酯、烷基取代的降冰片酯、烷基取代的降冰片衍生物酯、烷基取代的环状烷基酯、烷基取代的环状烷基衍生物酯中的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述R_d为碳原子数在6～30之间且含羟基的环状、笼状或直链型含碳结构和各类内酯结构的官能团，其结构为含1个或多个独立羟基的金刚烷酯、含1个或多个独立羟基的环己酯、含1个或多个独立羟基的环戊酯、含1个或多个独立羟基的多环酯类化合物、含1个或多个独立羟基的笼状酯类化合物、丁内酯、戊内酯、取代戊内酯、己内酯、取代己内酯、含金刚烷结构的内酯、含多环结构的内酯、含笼状结构的内酯中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述丙烯酸酯类单体中水的浓度低于100ppm，所述丙烯酸酯类单体的纯度高于90％，所述光刻胶树脂的分子量为8000-10000，PDI分布小于2。

7.根据权利要求1所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为甲醇、乙醇、二氧六环、丙酮、甲基乙基酮、环己酮、四氢呋喃、甲基四氢呋喃、苯、甲苯、二甲苯、氯仿、二氯乙烷、三氯乙烷中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述沉淀剂为纯水、甲醇、甲醇/水混合物、乙醇、乙醇/水混合物、异丙醇、异丙醇/水混合物、正庚烷、正己烷、环己烷、正戊烷、石油醚、乙醚、甲基叔丁基醚中的一种或多种。

9.根据权利要求1所述的光刻胶树脂的制备方法，其特征在于，所述升温反应的条件为50-90℃、所述搅拌的速率为300-600R/min。

10.一种光刻胶树脂，其特征在于，由权利要求1-9中任意一种方法制备得到。