[发明专利]一种溶蚀器制作工艺

权利要求书

1.一种溶蚀器制作工艺，其特征在于，主要包括以下步骤：

步骤一：基材预处理，选取高纯度的石英管材作为溶蚀器的内管，将石英管材进行除油、除灰处理；

步骤二：亲水处理，将亲水性防雾涂料与固化剂按比例进行混合得到混合涂料；然后将混合涂料采用表面涂覆的方式喷涂在石英管材的外侧壁上，在石英管材的外侧壁上形成厚度均匀的亲水性涂层以及间距均匀的凸起或凹槽；

凸起的制作工艺为将细丝均匀缠绕在石英管材的外侧壁上；将亲水性防雾涂料喷涂在石英管材的外侧壁并进行多次喷涂；然后除去细丝，在原细丝的位置形成凹槽，再对石英管材的外侧壁进行多次喷涂，在凹槽的位置根据虹吸原理形成凸起；或者将细丝均匀缠绕在石英管材的外侧壁上，将亲水性防雾涂料喷涂在石英管材的外侧壁并进行多次喷涂，在细丝的位置上形成凸起；凹槽的制作工艺为将亲水性防雾涂料喷涂在石英管材的外侧壁；在石英管材的外侧壁上均匀缠绕上细丝，再进行多次均匀喷涂；然后将细丝除去后在原细丝的位置上形成凹槽；

步骤三：固化处理，将步骤二中亲水处理后的石英管材进行固化；

步骤四：性能检测，对步骤三中固化处理后的溶蚀器内管进行基本特性以及疲劳性能测试。

2.根据权利要求1所述的一种溶蚀器制作工艺，其特征在于，步骤二中的凸起或凹槽在石英管材的外侧壁上呈螺旋形或环形。

3.根据权利要求1所述的一种溶蚀器制作工艺，其特征在于，步骤三中固化处理过程为在80℃的温度下进行固化10min，然后在120℃的温度下进行固化10min，最后在60℃的温度下进行固化5min，得到处理后的溶蚀器内管。

4.根据权利要求1所述的一种溶蚀器制作工艺，其特征在于，步骤二中亲水性防雾涂料与固化剂的混合比例为100/1.09。

5.根据权利要求1所述的一种溶蚀器制作工艺，其特征在于，步骤二中的亲水性涂层厚度为5-10μm。

6.根据权利要求1所述的一种溶蚀器制作工艺，其特征在于，步骤二中亲水处理的温度为20-35℃，湿度为小于80%。