[发明专利]一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备

说明书

本专利申请涉及半导体加工技术领域，公开了一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，清洗槽用于容纳清洗液，清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，注流组件包括注流主管和注流支管，注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，清洗液由注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动，附着于机械手臂夹手上的试剂不断地受到水流的冲击而从机械手表面分离，从而提升清洗效果，通过喷淋安装组件来调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置，避免喷淋支管上某一点的应力集中从而避免喷淋支管的损坏。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备。

背景技术

半导体设备常通过各种晶圆传输用的机械手臂完成的入料、传输、出料等的动作，在湿法工艺中，晶圆需要在多种不同的试剂中浸泡反应，机械手臂夹手批量夹持晶圆或夹持晶圆花篮并在各个工艺模组之间进行输送，机械手臂夹手包括两个板状的夹持部，在夹取过程中，两个夹持部容易沾染试剂，在多个模组之间进行输送时容易造成交叉污染，影响湿法工艺处理后的晶圆产品的工艺品质。

半导体设备包括壳体，在壳体内设置有清洗槽，现有的机械手臂夹手的清洗方式常为将机械手臂夹手伸入清洗槽内进行浸洗，然而这种清洗方式所耗费的时间长，影响工作效率；或是采用喷淋清洗的方式，在清洗槽上设置喷淋组件，喷淋组件包括喷淋支管，喷淋支管上直线排布有若干喷淋孔，喷淋支管的两端分别安装于清洗槽上，然而这种清洗方式下喷淋支管的安装位置固定，无法根据实际安装情况进行调整，使得各个喷淋支管之间位置不对称，会导致某个部位应力集中，从而造成喷淋支管的损坏。

发明内容

本发明意在提供一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，其具有有效清洁机械手臂夹手，避免污染残留的特点。

为达到上述目的，本发明的基本方案如下：

一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，

所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述喷淋组件包括若干喷淋支管，所述清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，第一方向为竖直方向，第二方向为垂直于清洗槽侧面的方向，所述喷淋安装组件用于调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置；

所述注流组件包括相互连通的注流主管和注流支管，所述注流支管设置于清洁槽的底部，所述注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，所述注流孔开设于注流支管的底部，当向所述注流主管内注入清洗液时，清洗液由注流支管上的注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动；

所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手；

所述清洗槽包括两个相互独立的槽体，两个所述槽体内分别注有用于清洗机械手臂夹手的两个夹持部的清洗液，所述槽体的底部均设置有注流支管，两个所述槽体均固定连接于连接板上；

每一槽体上均设置有两组喷淋安装组件，所述喷淋安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷淋安装组件分别与喷淋支管的两端相连接，所述喷淋安装组件包括第一安装板和两块第二安装板，两块所述第二安装板分别与第一安装板相连接，所述第一安装板上开设有若干第一腰形孔，所述第一腰形孔用于调整第一安装板在第一方向上的安装位置，

所述第二安装板上开设有若干第二腰形孔，所述第二腰形孔用于沿第二方向调整第二安装板在第一安装板上的安装位置，所述第一安装板于第二腰形孔相对应的位置开设由第一孔，所述第一孔和第二腰形孔内贯穿有第一紧固件；