[发明专利]一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备

权利要求书

1.一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，其特征在于：所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽(11)，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，

所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述喷淋组件包括若干喷淋支管(31)，所述清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，第一方向为竖直方向，第二方向为垂直于清洗槽侧面的方向，所述喷淋安装组件用于调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置；

所述注流组件包括相互连通的注流主管(4)和注流支管(41)，所述注流支管(41)设置于清洁槽的底部，所述注流支管(41)的侧壁上开设有若干注流孔(42)，所述注流孔(42)开设于注流支管(41)的底部，当向所述注流主管(4)内注入清洗液时，清洗液由注流支管(41)上的注流孔(42)进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动；

所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手；

所述清洗槽包括两个相互独立的槽体(1)，两个所述槽体(1)内分别注有用于清洗机械手臂夹手的两个夹持部(9)的清洗液，所述槽体(1)的底部均设置有注流支管(41)，两个所述槽体(1)均固定连接于连接板(2)上；

每一槽体(1)上均设置有两组喷淋安装组件，所述喷淋安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷淋安装组件分别与喷淋支管(31)的两端相连接，所述喷淋安装组件包括第一安装板(32)和两块第二安装板(33)，两块所述第二安装板(33)分别与第一安装板(32)相连接，所述第一安装板(32)上开设有若干第一腰形孔(321)，所述第一腰形孔(321)用于调整第一安装板(32)在第一方向上的安装位置，

所述第二安装板(33)上开设有若干第二腰形孔(331)，所述第二腰形孔(331)用于沿第二方向调整第二安装板(33)在第一安装板(32)上的安装位置，所述第一安装板(32)于第二腰形孔(331)相对应的位置开设由第一孔(322)，所述第一孔(322)和第二腰形孔(331)内贯穿有第一紧固件(34)；

所述第一安装板(32)开设有第一安装槽(323)，两根所述喷淋支管(31)的一端均滑动连接于第一安装槽(323)内，且滑动方向平行于第二方向，所述第二安装板(33)上开设有第二安装槽(332)，两根所述喷淋支管(31)分别滑动连接于两块安装板上的第二安装槽(332)内，所述第二安装板(33)上设置有用于固定喷淋支管(31)的第一固定件(35)。

2.根据权利要求1所述的自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，其特征在于：所述喷淋组件包括喷淋主管(3)，各个喷淋支管(31)分别与喷淋主管(3)相连通，每一所述槽体(1)上方分别设置有两个喷淋支管(31)，设置于同一槽体(1)上的两个喷淋支管(31)之间形成有使机械手臂夹手的夹持部(9)通过的间隙，各个所述喷淋支管(31)上均直线排布有若干喷淋喷嘴，所述喷淋喷嘴用于对夹持部(9)进行喷淋；

所述喷气组件设置于所述喷淋组件的上方，所述喷气组件喷气主管(7)和若干喷气支管(71)，每个所述槽体(1)的上方均与两根喷气支管(71)固定连接，设置于同一所述槽体(1)上的两根喷气支管(71)分别用于对机械夹手的两个侧面进行干燥，所述喷气管上固定连接有若干喷气喷嘴，设置于同一所述喷气管上的喷淋喷嘴呈直线分布，喷气喷嘴朝向设置于同一槽体(1)上的另一喷气管所在方向并向下倾斜设置。

3.根据权利要求1所述的自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，其特征在于：设置于同一注流支管(41)上的若干注流孔(42)呈直线分布，当向注流主管(4)中注入清洗液时，清洗液经过注流孔(42)并冲击到槽体(1)的底部，分散成多股并分别沿槽体(1)的侧壁向上流动形成循环。

4.根据权利要求1所述的自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，其特征在于：所述槽体(1)底部设置有排水组件，所述排水组件用于排出清洗后的清洗液，所述排水组件包括排水主管(5)和若干排水支管(51)，所述排水支管(51)用于连通槽体(1)与排水主管(5)，所述排水主管(5)上设置有用于开启或关闭排水主管(5)的排水阀(52)。